4月29日，据成都高新区天使投资协会官微消息，成都超纯应用材料有限责任公司（以下简称成都超纯）于近日完成新一轮股权融资，由比亚迪股份独家投资。 官网资料显示，成都超纯（UPAM）成立于2005年，是一家以技术为先导的半导体刻蚀器件、高功率激光器件和特种陶瓷厂商，研发及厂房超过一万平方米。

source：成都超纯

成都超纯具有自主知识产权，开发了多类工艺，包括先进表面处理工艺，可为半导体刻蚀器件和MOCVD器件提供专业的表面处理服务；提纯工艺，可将材料的纯度提纯到5N以上；先进陶瓷生产工艺，制造高密度碳化物和氮化物陶瓷；同时公司针对不同基底材料开发了一整套超光滑表面处理工艺来控制表面疵病，提高器件的使用寿命。 近年来，比亚迪持续投资化合物半导体相关厂商。2022年，比亚迪投资了半导体设备厂商邑文科技。2022年12月23日，邑文科技发生工商变更，新增比亚迪等新股东，注册资本变更为1947.6655万元。  据悉，邑文科技成立于2011年3月，专注于半导体前道工艺设备的研发、制造，主要产品为刻蚀工艺设备和薄膜沉积工艺设备，应用于半导体（IC及OSD）前道工艺阶段，尤其是SiC、GaN等化合物半导体和MEMS等特色工艺领域。 2023年，比亚迪又入股一家半导体设备厂。2023年7月，长三角一体化示范区（浙江嘉善）嘉芯半导体设备科技有限公司（以下简称嘉芯半导体）发生工商变更，新增股东比亚迪股份有限公司、深圳市创启开盈创业投资合伙企业（有限合伙）；公司注册资本从3.71亿元增加到4.12亿元。     截至2023年7月，嘉芯半导体累计订单已突破4.6亿元，其中包括氮化硅等离子刻蚀机、金属等离子刻蚀机、侧墙等离子刻蚀机等在内的刻蚀设备，高密度等离子薄膜沉积设备（HDP-CVD）、二氧化硅等离子薄膜沉积设备（PECVD）、掺杂硼磷二氧化硅薄膜化学沉积设备（SACVD）、钛/氮化钛沉积设备（MOCVD）、铝铜金属溅射设备（PVD）等在内的薄膜沉积设备。

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