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当前，HJT铜电镀处于从0到1发展阶段，随着产业趋势不断增强，头部设备厂已实现向下游送样测试，其中图形化环节设备相较电镀设备进展更快，已有设备出货。预计随着测试结果陆续出炉，铜电镀有望逐渐成为相对确定的技术方向。

那么，铜电镀中，图形化环节设备的空间有多大？涉及哪些工序？参与者当前的进度如何？带着这些问题，我们来看今天的铜电镀图形化环节设备产业链。这条产业链环节，包括：  

图：产业链结构

来源：并购优塾

上游——主要原材料包括光刻胶、光刻胶涂覆机、掩膜、光学元件以及大量的金属材料、电子元件、电缆线路等。

在涂料领域（光刻胶、掩膜），龙头地位长期被外资企业占领，近年外资市占率高达70%以上，国内代表企业有：容大感光、福斯特、广信材料等。

其中极具技术壁垒的零部件是光学元件中的光学镜头（蔡司）和光源（Cymer），截至目前高端化镜头和光源仍被外资垄断。  

图：2020年全球半导体光刻胶行业市场份额

来源：前瞻研究院、光大证券  

图：2020年全球独立第三方半导体掩膜板厂商市场格局

来源：SEMI，五矿证券

中游——铜电镀图形化设备厂商，核心设备是曝光机，主要布局的企业有芯碁微装、苏大维格、帝尔激光等。  

图：铜电镀设备及材料厂商布局情况

来源：公司公告，华泰研究

下游——组件产商，代表企业有隆基绿能、天合光能、晶科能源等。  

图：2022年中国前十光伏企业出货占比

来源：并购优塾

从产业链的参与者近期增长情况来看：

芯碁微装（安徽、合肥）——2022年前三季度，实现收入4.115亿元，同比增速41.02%；归母净利润8778万元，同比增速38.88%。

苏大维格（江苏、苏州）——2022年前三季度，实现收入13.20亿元，同比增速12.08%；归母净利润236.5万元，同比增速-95.50%。

帝尔激光（湖北、武汉）——2022年前三季度，实现收入10.53亿元，同比增速12.65；归母净利润3.364亿，同比增速19.52。

从机构一致预期增长和景气度来看：  

图：wind机构一致预期增长和景气度情况

来源：并购优塾、wind

  本报告，将更新到产业链地图  

（一）

在近期我们的铜电镀产业链报告中（详见《产业链报告库》），曾分析过铜电镀技术和其中的金属化环节，本报告聚焦于图形化环节：  

图：铜电镀工艺环节、技术路径及相关厂商

来源：华泰证券

图形化的作用是在掩膜上形成栅线图案，使得后道电镀工序中能够实现选择性沉积。它的质量决定了栅线宽度（越细越好），直接影响电镀电池的转换效率及良品率。

图形化工艺，可分为曝光显影、激光开槽/激光转印、丝网印刷/喷墨打印三类技术路线。我们分别来看：

1）曝光显影——为主流工艺，包含掩膜、曝光、显影三道工序。其中：

掩膜——是在电池片上涂覆感光材料，保护非电镀部分，可以分为干膜和湿膜（按材料分），干膜优点在于提高电镀环节的均匀性，但成本高（成本与厚度成负相关），代表公司是福斯特；湿膜优点在于成本低、可控性强、形成的栅线宽度窄，代表公司有广信材料。  

图：铜电镀图形化干膜、湿膜工艺比较 来源：华泰证券

其中，福斯特LDI干膜（激光干膜）已达到可用于IC载板/类载板制造所需的解析度要求，产品已进入深南电路、景旺电子等国内大型PCB厂商的供应体系，改变了中高端高解析干膜被国外垄断的局面。2021年通过可转债募集资金，“建设年产4.2亿平方米感光干膜项目”、“年产1亿平方米（高分辨率）感光膜项目”和“年产6.145万吨合成树脂及助剂项目（感光膜配套的原材料）”。

曝光——是将所需图形转移到感光材料上的过程。一般采用激光直写（LDI，用计算机控制的高精度光束聚焦投影于掩膜材料上）直接进行扫描曝光，以及掩膜曝光两类。

注意，LDI精度较高且不用消耗掩膜版，但核心部分（光学镜头）被TI垄断，其占LDI设备总成本的比例为25%，仅次于光源（30%）。当前，国内芯碁微装已打破该垄断，成功自主研发光学镜头。它的激光直写（LDI）设备目前正在中试线阶段，预计将于2023年3月出验证结果。  

图：LDI设备中主要的零部件成本占比

来源：并购优塾

掩膜光刻可进一步分为接触式掩膜光刻、投影式掩膜光刻。其中，前者易被污染，精度也难以满足电镀铜线宽要求；而后者具备精度高（主要应用在芯片、泛半导体领域）、掩模版不会被污染等优点，代表公司苏大维格。此外，投影式掩模版曝光还可以通过改变掩模版和光学镜头设计，一次曝光多片，进而带来生产效率高等优点。  

图：图形化曝光环节工艺对比

来源：华泰证券

2）激光开槽/激光转印——激光开槽原理是沉积AI2O3/a-Si叠层方法，仅适用单面电镀，与HJT电池工艺不兼容。

激光转印则是直接将种子层诱导至太阳能电池上，通过镀液调整电极形貌大小，适用于HJT电池（现已在PERC电池的铜电镀中得到了优化和证明）。激光转印具有高精度、无污染等优点，但成本较高，且生产速度相对较慢，目前还不能满足大规模生产的需求。  

图：图形化激光工艺路线

来源：《Copper metallization of electrodes for silicon heterojunction solar cells:Process,reliability and challenges》

3）丝网印刷/喷墨打印——原理是利用丝网图形部分网孔透过浆料漏印至电池片而后烧结成型，其工艺步骤较简单，成本极低，但无法控制栅线宽度和形貌，所以不具备应用前景。

综上来看，激光转印由于其工艺特性，只适用于小批量、多品种的生产，不能满足大规模生产的需求；投影式掩模光刻设备在其成本降下来之前，不具备大规模应用的条件；相比而言，直写光刻设备在铜电镀图形化工艺中更具经济性。

（二）

以上大致了解之后，我们来看三家公司的收入结构情况：

从整体收入规模来看：苏大维格（17.37亿元）帝尔激光（12.57亿元）芯碁微装（4.92亿元）。

芯碁微装——国内激光直写光刻设备龙头，主要产品包括PCB直接成像设备及自动线系统、泛半导体直写光刻设备及自动线系统、其他激光直接成像设备等。其直写光刻设备可应用于电镀铜技术。

2021年，PCB直接成像设备及自动线系统收入4.15亿元，占比84.18%；泛半导体直写光刻设备及自动线系统收入0.56亿元，占比11.36%。  

图：收入结构（单位：亿元）

来源：并购优塾

苏大维格——主要产品包括公共安全与新型印材（防伪膜与镭射膜）、消费电子新材料（导光膜/版及柔性导电膜）、反光材料（反光膜及反光标识）、高端智能装备（光刻设备、微纳光学产品智能装备）。

目前采用投影式曝光技术路线的曝光机设备已进入中试线验证阶段（用于铜电镀）。

2021年，微纳光学产品收入13.4亿元，占比77.17%；反光材料收入3.61亿元，占比20.81%。  

图：收入结构（单位：亿元）

来源：并购优塾

帝尔激光——是国内首个将激光技术导入光伏太阳能电池路线的企业，主要产品包括激光消融设备、激光掺杂设备、激光打孔设备、激光划片设备以及激光修复设备等。其首创的激光转印技术设备已正式出货，由中试验证进入量产阶段。

2021年，太阳能电池激光加工设备收入11.66亿元，占比92.76%。  

图：收入结构（单位：亿元）

来源：并购优塾

（三）

收入结构了解清楚后，我们来看近几个季度的归母净利润变化情况：  

图：归母净利润增速（单位：%）

来源：并购优塾

归母净利润增速方面，帝尔激光较稳定，芯碁微装和苏大维格波动较大，其中：

2021年Q1芯碁微装净利润增速大幅上涨，主要系客户技术迭代需求不断增加，牵引公司直写光刻设备、直接成像设备及自动线设备销量增加。

2021年Q4苏大维格净利润增速大幅为负，是子公司受卫生事件影响导致毛利及收入下滑，出于谨慎性考虑，计提商誉减值准备3.1亿元。

一、芯碁微装——2022年前三季度，实现收入4.115亿元，同比增速41.02%；归母净利润8778万元，同比增速38.88%。

2022Q3，实现收入1.563亿元，同比48.20%，环比3.68%；归母净利润3094万元，同比54.28%，环比-16.77%。  

图：近几个季度归母净利润变化（单位：%）

来源：并购优塾

另外，2022年预报显示，预计2022年实现归母净利润约1.37亿元，同比增长28.72%。增长原因一是公司不断拓展光刻设备下游市场覆盖面，推动主营业务规模的持续增长；二是公司加大载板市场的导入力度，推动公司光刻设备产品体系的高端化升级，提高了产品利润水平。

二、苏大维格——2022年前三季度，实现收入13.20亿元，同比增速12.08%；归母净利润236.5万元，同比增速-95.50%。

2022Q3，实现收入4.399亿元，同比16.81%，环比-8.90%；归母净利润98.81万元，同比20.81%，环比-95.99%。  

图：近几个季度归母净利润变化（单位：%）

来源：并购优塾

另外，2022年预报显示，预计2022年实现归母净利润约-2.6亿元至-3.6亿元。主要原因是一受卫生事件影响，消费电子、社会消费品需求不足，导致公司新型印材业务、导光材料业务收入下滑；二是子公司经营持续亏损，对其计提2.3至3.1亿元商誉减值准备。

三、帝尔激光——2022年前三季度，实现收入10.53亿元，同比增速12.65%；归母净利润3.364亿，同比增速19.52%。

2022Q3，实现收入3.878亿元，同比16.07%，环比9.43%；归母净利润1.204亿元，同比16.24%，环比-2.05%。  

图：近几个季度归母净利润变化（单位：%）

来源：并购优塾

（四）

一、净现比——苏大维格2021年净现比为负是因为净利润为负（资产减值所致，主要是华日升持续亏损，计提商誉减值）。

芯碁微装2019年和2020年净现比为负是受卫生事件影响，客户付款周期和设备验收天数有所延长，导致经营性应收项目增长。  

图：净现比

来源：并购优塾

二、经营活动现金流VS CAPEX——从数据来看，仅帝尔激光现金流压力较小，均能覆盖其资本性支出。苏大维格近三年资本开支较大，主要系投资盐城维旺生产线项目（微纳光学导光板项目）。  

图：现金流VS CAPEX（单位：亿元）

来源：并购优塾

（五）

一、毛利率——苏大维格近两年毛利呈下降趋势，主要系公司高毛利产品（微棱镜反光材料）销售占比下滑，且导光材料业务受上游原材料GPPS粒子、PMMA粒子价格上涨影响，利润空间受到挤压。  

图：毛利率（单位：%）

来源：并购优塾

二、净利率——净利率方面，苏大维格2021Q4大幅下降，是因为子公司华日升业绩未达预期，母公司计提长期资产减值损失所致。  

图：净利率（单位：%）

来源：并购优塾

三、回报分析——回报上，芯碁微装和帝尔激光相对较高，主要是其净利率较高。  

图：杜邦分析（单位：%）

来源：并购优塾

四、产业链价值分配  

图：产业链价值分配

来源：并购优塾

1）从价值量分配来看：国产替代逻辑下光刻机产业加速发展，其中光刻机整机和核心零部件技术壁垒高，产品价格高，盈利能力强。

2）从增长预期来看：中游设备跟着下游扩产和景气态势来走，下游扩产确定性高则增速高，从而带动中游的增速发力。

（六）

一、硅料——3 月13—17日，多晶硅料价格小幅下降，周五均价为每千克 226 元，较上周五环比下跌 1.3%，上下游开工率正常，硅料需求增加，市场成交相对活跃，供应有增量释放，但总体供应大于需求， 预计未来硅料价格或将保持缓跌趋势。  

图：多晶硅料价格走势（单位：元/kg）

来源：百川盈孚，西南证券

二、硅片——3 月13—17日，182mm/150m 单晶硅片价格区间为 6.20-6.50 元/片，成交均价较上周涨 2.6%；210mm/150m 单晶硅片价格区间在 8.19-8.20 元/片，成交均价与上周持平。硅业分会认为，硅片企业的断线率增加导致产量下降，但硅片订单需求有保障且硅片利润相对较高，硅料安全库存增加保障了硅片需求。  

图：硅片价格走势（单位：元）

来源：PVlnfoLink，东海证券

三、电池片——3 月13—17日，182mm/23%+单晶PERC电池片价格区间为1.07-1.09 元/片，均价为1.08 元/片，周价格稳定；210mm/23%+单晶PERC电池片价格为1.1元/片，均价为 1.1 元/片，周价格稳定。由于组件厂家对电池片价格的接纳程度较低，预计后续电池片价格将持续维稳。  

图：电池片价格走势（单位：元/W）

来源：PVlnfoLink，民生证券

四、组件——3 月13—17日，单面单玻182mm 单晶PERC组件价格区间在1.65-1.82元/片，均价为 1.73 元/片，周价格稳定；210mm 单晶PERC组件价格区间在1.63-1.82元/片，均价为1.74元/片，周价格稳定。  

图：组件价格走势（单位：元/W）

来源：PVlnfoLink，万联证券

（七）

 图：银栅线与铜栅线对比

来源：宗军，2021，《铜栅线高效异质结技术》，华泰研究

由于上一篇铜电镀技术-电镀设备产业链报告中（详见《产业链报告库》），我们已经详细分析测算过市场规模情况，这里我们不再详述。

铜电镀市场规模=光伏新增装机量容配比N型电池渗透率铜电镀技术渗透率铜电镀设备单GW投资额。

其中，图形化设备占铜电镀设备整体价值量的30%。

产业升级、补链强链

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