公告日期：2024-07-08

证券代码：688596 证券简称：正帆科技
上海正帆科技股份有限公司

向不特定对象发行可转换公司债券
募集资金使用的可行性分析报告

（修订稿）

二〇二四年七月


上海正帆科技股份有限公司（以下简称“公司”或“正帆科技”）是在上海证券交易所科创板上市的公司。为适应行业发展趋势，提升公司竞争实力，优化公司资本结构，公司公开发行可转换公司债券（以下简称“可转债”）募集资金。公司董事会对本次发行可转债募集资金运用的可行性分析如下：

一、募集资金使用计划

本次公开发行可转债拟募集资金不超过人民币 110,200.00 万元，扣除发行费用后的募集资金净额将全部用于以下项目：

序号 项目名称 投资总额 拟投入募集资金
（万元） 金额（万元）

铜陵正帆电子材料有限公司特气建设项目（二

1 期）——年产 890 吨电子先进材料及 30 万立方 35,000.00 35,000.00
电子级混合气体项目

2 正帆科技（丽水）有限公司特种气体生产项目 40,000.00 40,000.00

3 正帆百泰（苏州）科技有限公司新建生物医药核 15,000.00 15,000.00
心装备及材料研发生产基地项目

4 补充流动资金及偿还银行贷款 20,200.00 20,200.00

合计 110,200.00 110,200.00

在本次发行可转换公司债券募集资金到位之前，公司将根据募集资金投资项目实施的重要性、紧迫性等实际情况先行投入自有或自筹资金，并在募集资金到位后按照相关法律、法规规定的程序予以置换。

如本次发行实际募集资金（扣除发行费用后）少于拟投入本次募集资金总额，公司董事会将根据募集资金用途的重要性和紧迫性安排募集资金的具体使用，不足部分将通过自有资金或自筹方式解决。在不改变本次募集资金投资项目的前提下，公司董事会可根据项目实际需求，对上述项目的募集资金投入顺序和金额进行适当调整。

二、本次募集资金投资项目基本情况及可行性分析


（一）铜陵正帆电子材料有限公司特气建设项目（二期）——年产 890 吨电
子先进材料及 30 万立方电子级混合气体项目

1、项目基本情况

本项目为铜陵正帆电子材料有限公司在一期已建、二期预留的基础上，利用一期已建的路网以及公辅工程设施，新建二期年产 890 吨电子先进材料及 30 万立方电子级混合气体项目，同时为电子、半导体、芯片等各类高端客户提供高纯和超高纯气体现场制气服务。

本项目拟生产的电子先进材料主要包括原硅酸乙酯（TEOS）、亚磷酸三乙酯（TEPO）、硼酸三乙酯（TEB）、四甲基硅烷(4MS)、三甲基硅烷(3MS)、八甲基环四硅氧烷(OMCTS)、六氯乙硅烷(HCDS)、四氯化钛(TiCl4)、四氯化铪(HfCl4)等产品，拟生产的电子级混合气体包括磷化氢/氢气混合气、磷化氢/氮气混合气、磷化氢/氩气混合气、磷化氢/硅烷混合气、乙硼烷/氢气混合气、锗烷/氢气混合气、四氟化锗/氢气混合气、三氟化硼/氢气混合气等各类产品。

2、项目实施的必要性

电子先进材料是指应用于电子制造及相关产业的特殊材料，如半导体材料、各种薄膜、高纯度金属材料等，是集成电路（IntegratedCircuit；简称 IC）制造过程中必不可少的原料。同时它也广泛应用于光电子、化合物半导体、太阳能光伏电池、液晶显示器、光导纤维制造等其它诸多领域。集成电路制造的前道工序如外延、化学气相沉积、离子注入、掺杂、刻蚀、清洗、掩蔽膜生成等工艺几乎都需要不同种类和不同纯度的电子先进材料和电子气体通过不同的工艺使硅片具有半导体性能。

例如原硅酸乙酯（TEOS）主要用于集成电路中制备外延材料，在半导体产业发展中起到重要作用，是微电子高端化学品，也是第三代半导体材料和新兴半导体产业中重要的前驱体材料，其生产工艺难度较大，且生产过程中对于金属离子杂质含量……
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