公告日期：2024-07-19

证券代码：688401 证券简称：路维光电

深圳市路维光电股份有限公司

投资者关系活动记录表

编号：2024-013

 特定对象调研  分析师会议

 媒体采访  业绩说明会

投资者关系

 新闻发布会  路演活动

活动类别

 现场调研  电话会议

 其他

参与单位名

德邦证券、华泰柏瑞基金

称

调研时间 2024 年 7 月 17 日

会议地点 公司会议室
上市公司接 董事、财务总监：刘鹏
待人员姓名 投资者关系：刘文鑫

1、请问公司的掩膜版技术来源？

公司的技术来自于公司长期的自主研发和创新，自成立以来一直
致力于掩膜版的研发、生产、销售，经历二十多年的不懈努力，已突
破多项关键核心技术。作为国内首家掌握 G11 高世代掩膜版生产技术
的本土企业，公司跻身全球 G11 掩膜版细分市场的主要参与者之一，
投资者关系 在高世代高精度半色调掩膜版领域打破国外技术垄断，实现全世代产活动内容记 品的量产；已实现 180nm 及以上制程节点半导体掩膜版量产，满足先
录 进半导体芯片封装、半导体器件、先进指纹模组封装、高精度蓝宝石
衬底（PSS）等产品应用；已取得 150nm 制程节点及以下成熟制程半
导体掩膜版制造关键核心技术，同时公司已掌握的半导体掩膜版制造
技术可以覆盖第三代半导体相关产品。

2023 年公司实施的研发项目实现了 G6 FMM 用 Mask、PS HTM 及
Metal Mesh 用 PSM 等多个新产品的量产导入，进一步提升了 G6 LTPS、
G6 AMOLED、G8.5 灰阶掩膜版、以及下置型 HTM 的技术能力。

未来公司会持续研发创新，进一步丰富产品种类和应用领域。后续进展敬请关注公司公告。

2、公司增长的驱动因素有哪些？

（1）下游面板存在 OLED 替代 LCD 的趋势，OLED 在全球占比快速
提升，由于 OLED 是电流驱动显示，所以对像素驱动电路要求更高，进而对掩膜版的质量和数量提出了更高的要求，这无疑加大了对高端掩膜版的需求。下游半导体行业，中国掩膜版市场空间广阔，根据 SEMI数据，在 2024 年全球将开工建设的 42 座新晶圆厂中，有近一半位于中国，为国内掩膜版市场带来巨大的需求空间。掩膜版行业自身技术迭代驱动增长，例如平板显示用相移掩膜 PSM 可以提升传统液晶面板厂的制程工艺能力，也可以应用于 AMOLED 及 LTPO 等新型显示面板工厂，帮助其减小晶体管尺寸，提升像素密切度和开口率，预计平板显示行业中相移掩膜版的使用率将不断增长。与此同时，国内掩膜版行业仍走在国产替代的路上，公司和行业一起快速发展，市占率还有较大的提升空间。

（2）由于国内掩膜版行业市场目前仍处于供不应求的状态，公司也在同步积极扩建产能，随着新增扩产项目的陆续落地放量，公司预计将进一步打开成长空间。公司作为国内半色调、PSM 技术研发的先行者，不断提升自身工艺水平，技术的改良以及工艺的升级对于优化公司产能以及产品结构有很大的帮助，随着公司未来半色调掩膜版占比提升、PSM 的量产应用，公司掩膜版的盈利能力存在结构优化空间。
3、掩膜版行业的壁垒？

（1）资金壁垒，掩膜版是一个资金密集性行业，就生产制造而言，前期的设备产线投资占比重，以公司上市前采购的 P10 光刻机为例，设备原值已经超过 3 亿元人民币。

（2）技术壁垒，掩膜版的工艺流程主要包括 CAM 图档处理、光阻涂布、激光光刻、显影、蚀刻、脱膜、清洗、宏观检查、自动光学检查、精度测量、缺陷处理、贴光学膜等环节。每个环节在设备结构、

精度控制、配比控制、时间控制、操作手法等等多方面都存在技术难
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