证券代码：688361 证券简称：中科飞测
深圳中科飞测科技股份有限公司投资者关系活动记录表

编号：2023-001

□特定对象调研 □分析师会议

投资者关系活动 □媒体采访 □业绩说明会

类别 □新闻发布会 □路演活动

□现场参观

其他 （电话会议）

中信证券股份有限公司、易方达基金管理有限公司、广发证券股份有
参与单位名称 限公司、东吴基金管理有限公司、太平资产管理有限公司、华夏基金
管理有限公司、中国民生银行股份有限公司等约 200 个机构

时间 2023 年 8 月 28 日 15 点 00 分

地点 中科飞测办公室

上市公司接待人 陈 鲁 董事长、总经理

员姓名 古凯男 董事会秘书

周凡女 财务总监

一、主要内容介绍

公司就中科飞测基本情况、2023 年 1-6 月经营业绩情况等投资
要点进行了介绍。

二、互动问答

1、2023 年上半年订单主要构成，以及 2023 年全年订单展望？
答：随着设备国产替代速度的提升和公司产品种类的不断丰富，
公司上半年订单呈现增长的趋势，预计全年订单会持续增长。

投资者关系活动 从客户构成来看，公司客户涵盖了先进/成熟制程晶圆厂、先进封
主要内容介绍 装厂、半导体设备厂商及半导体材料厂商。

2、2023 年的收入规模和净利润的展望？

答：2023 年上半年业绩情况符合公司预期，应用于前道领域的设
备营收占比进一步提高，收入抗风险能力进一步提高。公司也在进一
步的扩大经营规模，保持高强度研发投入，预计全年营收将保持快速
增长。

3、公司明场纳米图形晶圆缺陷检测设备、暗场纳米图形晶圆缺
陷检测设备、关键尺寸量测设备的研发进展情况？

答：这三款设备的研发主要是针对 2Xnm 工艺节点开展，需要完
成准备、验证、试错等环节，所需研发周期相对较长，公司也已经开

展了长时间的研发，目前来看，公司相关设备研发进展顺利。

4、公司今年上半年有哪些新产品成为收入增长点？

答：主要包括套刻精度量测设备和金属膜厚量测设备。套刻精度
量测设备在成熟工艺节点已经实现批量供应，在先进工艺产线已经通
过部分客户验证，公司将继续推进产品以得到市场更广泛的认可，未
来销量将有望进一步提升。另外一款设备金属膜厚量测设备也逐渐得
到更多客户的认可，多台设备已完成客户验证。

5、公司针对 1Xnm 工艺节点的设备的研发进展情况？

答：设备的研发周期很长，公司对于 1Xnm 工艺节点设备进行了
持续性的布局，在 2Xnm 设备研发的同时，已经考虑了 1Xnm 设备的
研发延续性，1Xnm 的设备研发会充分运用 2Xnm 的设备研发经验，
公司多种类型的检测和量测设备都已开展 1Xnm 的研发。

6、行业下半年及明年的需求情况？

答：公司产品需求受下游新建晶圆厂产线计划、现有晶圆厂新建
产线计划的影响。从目前的行业情况来看，后续市场有望呈现比较健
康的增长趋势，国产化率有望不断提升，具体情况还是要看客户实际
的资本支出安排，未来整体的发展是向好的。

7、在微米级别 AOI 设备领域，通常把明场、暗场模式集成在一
台设备里，而在纳米级别上，明场、暗场模式会拆分设计成不同的产
品，请问是为什么？

答：主要原因是与微米级别的图形晶圆缺陷检测设备相比，纳米
级别的图形晶圆缺陷检测设备的复杂程度呈现指数级增加，对设备的
要求比较高，单台设备的价值更高。明场和暗场设备在功能和特点上
不太相同，明场设备能够检测的缺陷的种类比暗场设备要多，但暗场
设备的检测速度更快。纳米级别的明场、暗场设备，因为单价高，且
同时只能使用其中一种模式，从客户资本投入回报来看，经济效益最
高的方式是充分使用单一功能设备。

附件清单（如有） 附件 1《与会单位名单》

日期 2023 年 8 月 28 日 15 点 00 分

附件 1《与会单位清单》

序号 公司名称

1 朱雀基金管理有限公司

2 中邮证券研究所

3 中银机械

4 中银国际证券股份有限公司

5 中信证券股份有限公司

6 中信建投证券股份有限公司

7 中信建投机械

8 中信机械

9 中信保诚资产管理有限责任公司

10 中信保诚基金管理有限公司

11 中泰证券研究所

12 中泰证券股份有限公司（自营）

13 中泰证券股份有限公司

14 中欧基金管理有限公司

15 中金基金管理有限公司

16 中金机械

17 中航机械

18 中国银河证券股份有限公司

19 中国人寿资产管理有限公司

20 中国人民健康保险股份有限公司

21 中国人保资产管理有限公司

22 中国民生银行股份有限公司

23 中国国际金融股份有限公司

24 中保投资有限责任公司

25 郑州智子投资管理有限公司

26 浙商证券股份有限公司

27 浙商机械

28 浙江金蚂股权投资管理有限公司

29 招银理财有限责任公司

30 招商基金管理有限公司

31 招商机械

32 长江证券研究所

33 长江证券（上海）资产管理有限公司


34 长江机械

35 远信（珠海）私募基金管理有限公司

36 圆信永丰基金管理有限公司

37 永赢基金管理有限公司

38 盈科创新资产管理有限公司

39 英大证券有限责任公司

40 银华基金管理股份有限公司

41 银河机械

42 易唯思商务咨询(上海)有限公司

43 易米基金管理有限公司

44 易方达基金管理有限公司

45 阳光保险集团股份有限公司

46 亚太财产保险有限公司

47 兴业证券经济与金融研究院

48 兴业证券股份有限公司

49 兴业基金管理有限公司

50 兴业机械

51 兴华基金管理有限公司

52 信达证券股份有限公司

53 信达机械

54 信达澳亚基金管理有限公司

55 相聚资本管理有限公司

56 西部证券股份有限公司

57 西部利得基金管理有限公司

58 西部电子

59 西安瀑布资产管理有限公司

60 万家基金管理有限公司

61 天治基金管理有限公司

62 天弘基金管理有限公司

63 天风机械

64 泰康资产管理有限责任公司

65 太平资产管理有限公司

66 太平基金管理有限公司

67 苏银理财有限责任公司

68 深圳中天汇富基金管理有限公司

69 深圳昭图投资管理有限公司


70 深圳市远望角投资管理企业（有限合伙）

71 深圳市同利德资产管理有限公司

72 深圳市泰石投资管理有限公司

73 深圳市尚诚资产管理有限责任公司

74 深圳市前海登程资产管理有限公司

75 深圳市明达资产管理有限公司

76 深圳市康曼德资本管理有限公司

77 深圳市红方资产管理有限公司

78 深圳市东方马拉松投资管理有限公司

79 深圳前海旭鑫资产管理有限公司

80 深圳纽富斯投资管理有限公司

81 深圳菁英时代基金管理股份有限公司

82 深圳进门财经科技股份有限公司

83 申万宏源证券资产管理有限公司

84 申万宏源证券公司

85 申万宏源机械

86 上证机械

87 上海重阳投资管理股份有限公司

88 上海众企投资顾问有限公司

89 上海正心谷投资管理有限公司

90 上海云量资产管理有限公司

91 上海新泉投资有限公司

92 上海同犇投资管理中心（有限合伙）

93 上海石丸梨花私募基金管理有限公司

94 上海山楂树私募基金管理中心（有限合伙）

95 上海锐至信息技术股份有限公司

96 上海璞远资产管理有限公司

97 上海牛乎资产管理有限公司

98 上海南土资产管理有限公司

99 上海明河投资管理有限公司

100 上海留仁资产管理有限公司

101 上海领久私募基金管理有限公司

102 上海利位投资

103 上海理成资产管理有限公司

104 上海聚鸣投资管理有限公司

105 上海泾溪投资管理合伙企业(有限合伙)


106 上海极灏私募基金管理有限公司

107 上海慧琛私募基金管理有限公司

108 上海鸿涵投资管理有限公司

109 上海鹤禧私募基金管理有限公司

110 上海光大证券资产管理有限公司

111 上海古木投资管理有限公司

112 上海亘曦私募基金管理有限公司

113 上海歌汝私募基金管理有限公司

114 上海东方证券资产管理有限公司

115 上海德汇创业投资有限公司

116 上海淳阳私募基金管理有限公司

117 上海晨燕资产管理中心(有限合伙)

118 上海彬元资产管理有限公司

119 山西证券股份有限公司

120 厦门中略投资管理有限公司

121 青骊投资管理（上海）有限公司

122 青岛韬观投资管理有限公司

123 浦银安盛基金管理有限公司

124 平安证券股份有限公司

125 平安银行股份有限公司

126 鹏扬基金管理有限公司

127 鹏华基金管理有限公司

128 磐厚动量（上海）资本管理有限公司

129 宁银理财有限责任公司

130 南方基金管理股份有限公司

131 民生加银基金管理有限公司

132 民生机械

133 美银证券

134 美银机械

135 路博迈基金管理(中国)有限公司

136 凯石基金管理有限公司

137 开源机械

138 九泰基金管理有限公司

139 景顺长城基金管理有限公司

140 交银施罗德基金管理有限公司

141 交银康联资产管理有限公司


142 江苏沙钢集团投资控股有限公司

143 江苏瑞华投资控股集团有限公司

144 建投机械

145 嘉实基金管理有限公司

146 惠升基金

147 汇信资本投资管理(深圳)有限公司

148 汇泉基金管理有限公司

149 汇华理财有限公司

150 汇丰晋信基金管理有限公司

151 华鑫证券有限责任公司

152 华夏久盈资产管理有限责任公司

153 华夏基金管理有限公司

154 华夏财富创新投资管理有限公司

155 华西基金管理有限责任公司

156 华泰证券股份有限公司

157 华泰保兴基金管理有限公司

158 华商基金管理有限公司

159 华富基金管理有限公司

160 华创证券有限责任公司

161 华创机械

162 华创汇才投资管理（北京）有限公司

163 华宝基金管理有限公司

164 华安机械

165 泓德基金管理有限公司

166 宏利基金管理有限公司

167 红塔证券资管

168 红杉资本投资管理有限公司

169 横店资本管理有限公司

170 恒泰证券股份有限公司

171 恒生前海基金管理有限公司

172 恒生前海基金

173 杭州锦成盛资产管理有限公司

174 杭银理财有限责任公司

175 海通机械

176 海南谦信私募基金管理有限公司

177 海南鎏石私募基金管理有限责任公司


178 海南鸿盛私募基金管理有限公司

179 国信机械

180 国泰君安证券股份有限公司

181 国泰君安

182 国泰基金管理有限公司

183 国盛证券有限责任公司

184 国盛机械

185 国联证券研究所

186 国联证券股份有限公司

187 国联基金管理有限公司

188 国开证券股份有限公司

189 国金证券研究所

190 国金基金管理有限公司

191 广州宏新投资集团有限公司

192 广发证券股份有限公司

193 广发证券发展研究中心

194 广发机械

195 光大资管

196 光大证券研究所

197 光大证券股份有限公司

198 光大机械

199 光大保德信基金管理有限公司

200 共青城鼎睿资产管理有限公司

201 工银国际控股有限公司

202 富荣基金管理有限公司

203 富国基金管理有限公司

204 富安达基金管理有限公司

205 复通私募投资基金

206 方正富邦基金管理有限公司

207 东兴基金管理有限公司

208 东吴基金管理有限公司

209 东吴机械

210 东方基金管理股份有限公司

211 东北证券股份有限公司

212 第一上海证券有限公司

213 德邦机械


214 大家资产管理有限责任公司

215 大和证券

216 创金合信基金管理有限公司

217 财通证券资产管理有限公司

218 财通证券研究所

219 财通基金管理有限公司

220 财通机械

221 博泽资产管理有限公司

222 博道基金管理有限公司

223 北京致顺投资管理有限公司

224 北京源乐晟资产管理有限公司

225 北京源峰私募基金管理合伙企业（有限合伙）

226 北京橡果资产管理有限公司

227 北京嘉承金信投资有限公司

228 北京泓澄投资管理有限公司

229 北京东方睿石投资管理有限公司

230 百嘉基金管理有限公司

231 安信机械

232 UBS 机械

233 Ikaria Group (HK) Limited

234 Hel Ved Capital Management Limited

235 E FUND MANAGEMENT (HONG KONG) CO., LIMITED

236 CM SECURITIES INVESTMENT

237 Brilliance Asset Management Limited

238 Anlan Private Equity Fund