您好，1.贵公司用于集成电路等离子蚀刻的高纯六氟乙烷是国内首家，用于光刻机的光刻
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【问】您好，1.贵公司用于集成电路等离子蚀刻的高纯六氟乙烷是国内首家，用于光刻机的光刻气系列产品都是国内首家，市占率都大于50%，请问是否属实？2.已经实现近20个特气产品的进口替代，是否属实？谢谢 【答】华特气体：非常感谢您的关注！1.是的，属实。2.是的，公司从2011年至今已经实现了近20个产品的进口替代。¶¶2020-02-27 10:32:00 §
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