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- A大中小
- 韬定律要做逻辑折叠、3D堆叠、TSV、混合键合
- 这些结构都需要高深宽比、超薄、均匀、无针孔的绝缘/界面膜
- ALD是唯一能稳定做到的工艺
- 微导纳米就是国产ALD设备最核心供应商之一
4. 一句话区分
- 微导纳米：主打ALD（原子级、超薄、复杂结构、先进制程/3D封装刚需）
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