公司生产的氩气可以应用于等离子沉积和蚀刻工艺，还可用于深紫外光刻机中半导体芯片的
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【问】公司生产的氩气可以应用于等离子沉积和蚀刻工艺，还可用于深紫外光刻机中半导体芯片的最小特征的图案上是否属实？ 【答】金宏气体：您好，根据公司《招股说明书》中关于“发行人的主要产品及简介”关于氩气产品简介表述，“氩气被用于等离子沉积和蚀刻工艺，还可用于深紫外光刻激光器中半导体芯片的最小特征的图案上。”感谢您对公司的关注，谢谢！¶¶2020-07-06 08:34:53 §
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