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刚刷到的信息，公司此前申请了一项名为“溶液供给装置及半导体设备”的专利，根据专利摘要显示，这项发明公开了溶液供给装置及半导体设备，该溶液供给装置用于为处理装置提供混合溶液。从作用和意义来看，这项发明实现了提升混液中各化学组分的体积比例精度的效果。可见，盛美一直在推进研发创新，不断寻求突破，2025年值得继续期待
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