$盛美上海(SH688082)$    公司前几天宣布2024年推出的Ultra Fn A等离子增强型原子层沉积炉管设备（PEALD）已初步通过一家半导体客户的工艺验证，正在进行最后优化和为迈入量产做准备；同时，2022年推出的Ultra Fn A热原子层沉积炉设备（Thermal ALD）也已成功通过另一家客户的工艺验证，性能参数表现优秀。