你好，贵公司有用于生产用于高带宽内存HBM的设备吗？
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【问】你好，贵公司有用于生产用于高带宽内存HBM的设备吗？ 【答】盛美上海：尊敬的投资者您好，感谢您对公司的关注！目前公司全线湿法清洗设备及电镀铜设备等均可用于DRAM（高带宽存储器HBM）工艺，湿法类设备包括前段及后段单片清洗设备，TSV单片清洗设备，背面清洗设备，高温单片SPM设备、边缘湿法刻蚀设备等，电镀铜设备包括大马士革电镀及TSV电镀设备等。另外公司还有全线封测设备（包括湿法设备，涂胶，显影设备，电镀铜设备）亦可应用于HBM 2.5封装工艺。谢谢！¶¶2024-03-26 16:47:00 §
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