半导体设备板块震荡走高，芯源微大涨超10%，广立微、华海清科、海目星、拓荆科技、长川科技等涨幅靠前。华西证券表示，整体来看，半导体设备国产化率不足20%，仍处于相对低位，对于光刻、量/检测、涂胶显影、离子注入设备等领域，该机构预估国产化率仍低于10%，国产化背景下，看好本土设备国产化率快速提升。