公告日期：2024-04-27

中国国际金融股份有限公司

关于沈阳芯源微电子设备股份有限公司

2023 年度募集资金存放与使用情况的专项核查意见

中国国际金融股份有限公司（以下简称“中金公司”或“保荐机构”）作为沈阳芯源微电子设备股份有限公司（以下简称“芯源微”或“公司”）持续督导的保荐机构，根据《证券发行上市保荐业务管理办法》《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第 1 号——规范运作》《上海证券交易所上市公司自律监管指引第 11 号——持续督导》《上市公司监管指引第 2 号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》等相关法律、法规和规范性文件的规定，对芯源微 2023 年度募集资金存放与使用情况进行了审慎核查，核查情况与意见如下：
一、募集资金基本情况

（一）实际募集资金的金额及到账情况

1、2019 年首次公开发行股票募集资金

经中国证券监督管理委员会《关于同意沈阳芯源微电子设备股份有限公司首次公开发行股票注册的批复》（证监许可〔2019〕2335 号）同意注册，芯源微于
2019 年 12 月向社会公开发行人民币普通股（A 股）21,000,000 股，每股面值为人
民币 1 元，每股发行价为人民币 26.97 元，应募集资金总额为 566,370,000.00 元，
根据有关规定扣除发行费用 60,625,896.22 元后，实际募集资金净额为
505,744,103.78 元。以上募集资金已于 2019 年 12 月 10 日到位，募集资金到位情
况已经容诚会计师事务所（特殊普通合伙）审验并出具会验字[2019]8294 号《验资报告》。公司对募集资金采取了专户存储管理。

2、2021 年度向特定对象发行 A 股股票募集资金

经中国证券监督管理委员会《关于同意沈阳芯源微电子设备股份有限公司向特定对象发行股票注册的批复》（证监许可[2022]498 号）同意注册，芯源微于 2022
年 6 月向特定对象发行人民币普通股股票 8,045,699.00 股，每股面值 1 元，发行价
格为人民币 124.29 元/股，募集资金总额为人民币 999,999,928.71 元，扣除不含税的发行费用人民币 9,915,093.67 元，实际募集资金净额为人民币 990,084,835.04 元。前述募集资金到位情况经容诚会计师事务所（特殊普通合伙）（以下简称“容诚会计师”）验证，并出具了《验资报告》（容诚验字[2022]110Z0008 号）。公司对募集资金采取了专户存储管理。

（二）募集资金本报告期使用金额及期末余额情况

1、2019 年首次公开发行股票募集资金

2023 年度，公司 2019 年首次公开发行股票募集资金使用情况为：（1）闲置
募集资金暂时补充流动资金 54,000,000.00 元；（2）归还闲置募集资金暂时补充流
动资金 50,000,000.00 元。2023 年度公司累计使用募集资金 54,000,000.00 元，支付
银行手续费（不含增值税）1,572.84 元，募集资金专用账户利息收入为 53,176.02
元，募集资金专用账户 2023 年 12 月 31 日余额合计为 354,940.19 元。具体明细如
下：

单位：人民币元

项目 金额

募集资金净额 505,744,103.78

减：截至 2023 年 12 月 31 日直接对募集资金项目投入 387,316,021.56

其中：高端晶圆处理设备产业化项目 248,133,621.56

高端晶圆处理设备研发中心项目 139,182,400.00

减：截至 2023 年 12 月 31 日使用超募资金永久补充流动资金 76,600,000.00

减：截至 2023 年 12 月 31 日使用闲置募集资金暂时补充流动资金 244,000,000.00

减：截至 2023 年 12 月 31 日使用节余募集资金补充……
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