证券代码：688037 证券简称：芯源微
沈阳芯源微电子设备股份有限公司投资者关系活动记录表
编号：2022-04

特定对象调研  分析师会议

投资者关系活 媒体采访  业绩说明会

动类别 新闻发布会 路演活动

 现场参观  其他（电话会议）

易方达基金

华夏基金

南方基金

银河基金

天弘基金

嘉实基金

建信基金

摩根士丹利华鑫基金

高毅资产

安信国际

安信证券

宝盈基金

参与单位名称 北京东方睿石投资

北京泓澄投资

北京天童芯源科技

北京天相资本

北京衍航投资

财信证券资管

翀云投资

淳厚基金

大策投资

德邦电子

第五公理投资

东北证券

东方阿尔法基金

东方证券


东吴证券

敦和资产

方瀛投资
方正证券研究所

富国基金

富荣基金

高华证券

光大信托

光大证券

光大资管
广东惠正投资
广东民建实业
广州市玄元投资

国华人寿

国金基金
国君香港资管

国君资管

国泰基金

国投瑞银

国信证券

海富通基金
海通证券资产
航天科工资产
红杉资本股权投资

宏道投资

鸿道投资

华安基金

华创证券

华金证券

华能贵诚

华融证券
华泰柏瑞基金

华泰证券

华西证券

汇丰晋信基金
汇鸿汇升（上海）

汇泉基金

建信养老
交银施罗德基金

金鹰基金

聚鸣投资

凯石基金

领颐资产

民生证券

明亚基金

南方汇金

南方天辰
南京双安资产

南京证券

盘京投资

平安基金

平安养老

浦银安盛
青岛城投金融控股
青骊投资管理

秋阳投资

趣时资产

群益投信

人保健康
仁桥（北京）资产

榕树投资

瑞银证券
上海炳耀资产
上海纯达资产
上海从容投资
上海砥俊资产
上海蓝墨投资
上海临桐建发投资


上海留仁资产

上海汽车集团

上海尚近投资

上海万吨资产

上海易同投资

上海迎水投资

上海煜德投资

上海远信投资

上海长见投资

上海中域投资

申银万国

深国投

深圳前海溋沣资本

深圳市明达资产

深圳市尚诚资产

深圳市泰石投资
深圳市远望角投资

深圳新百信控股

深圳昭图投资

神农投资

拾贝投资

首创证券

太平洋资产

太平资产

泰康资产

泰旸资产

天安人寿

武汉美阳投资

西部利得基金

西南证券

新华资产

信泰人寿保险

兴业证券
一带一路（北京）国际


银华基金

永赢基金

誉辉资本

源峰私募基金

浙江象舆行投资

正心谷

中国建银投资

中海基金

中加基金

中科沃土

中泰证券

中信保诚基金

中信建投

中信证券

中银基金

中邮人寿保险

中证信用增进

中资东方

重阳投资

珠海横琴万方资产

珠海坚果

逐流资产

紫阁投资

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AROHI ASSET MANAGEMENT

BOCI China

BRILLIANCE - BRILLIANT PARTNERS FUND LP
Cathay Securities Investment Trust Co., Ltd.
Cephei capital

CICC

CloudAlpha

GR ASSET

HEL VED CAPITAL MANAGEMENT LIMITED

Manulife Hong Kong


Neuberger Berman Singapore Pte.Limited
Polymer Capital Management (HK) Limited
Schroder Investment Mangement Limited

时间 2022年8月

地点 公司会议室

董事长、总裁 宗润福

上市公司接待 副总裁、董事会秘书 李风莉

人员姓名 证券投资部总监 刘书杰

前道市场销售总监 王星园

一、2022 年半年度经营情况介绍

2022 年上半年公司经营业绩保持高速增长，报告期内实

现营业收入 50,425 万元，同比增长 44%；净利润 6,940 万元，

同比增长 98%；扣非后净利润 6,578 万元，同比增长 122%。上

半年扣非后净利润率超过 13%，同比增长接近 5 个百分点，公

司盈利水平显著提升。报告期内，公司销售回款情况良好，经

营性现金流同比大幅由负转正。

报告期内，公司前道涂胶显影机 offline、I-line、KrF

机台均实现了批量销售。公司新签订单规模实现大幅增长，报

投资者关系活 告期末合同负债达到 62,776 万元。同时公司在报告期内完成
动主要内容介

绍 了 2021 年 A 股定向增发工作，引入了易方达、华泰资管、中

信证券、JP Morgan 等多家知名投资机构，资本扩充将加速公

司规模化发展。

二、投资者关注的问题及回复

Q1：公司上半年各产品销售和签单情况如何？

A：公司目前在手订单饱满。截至 2022 年 6 月 30 日，公司合

同负债额达到 62,776 万元，较 2021 年底增长了 78%。从销售

情况来看，公司前道涂胶显影机 offline、I-line、KrF 机台

均实现了批量销售，公司前道物理清洗机市场占有率也在稳步

提升；从签单的情况来看，公司前道领域产品已经实现快速放 量，今年新签订单的结构中前道产品的占比大幅提升。
Q2：公司后道及小尺寸产品的签单预期？
A：后道先进封装及小尺寸（化合物半导体等）为公司传统优 势领域，经过多年发展，公司产品的技术实力及性价比均获得 了客户的广泛认可，成功打入了包括台湾台积电、长电科技、 华天科技、通富微电、三安光电等知名厂商。近年来，公司在 后道及小尺寸领域持续开展技术迭代，持续升级机台工艺等 级，不断巩固自身在细分领域的龙头地位，目前产品签单情况 良好，符合市场预期。
Q3：前道涂胶显影机的技术壁垒主要体现在哪些方面？
A：（1）涂胶显影机是芯片生产线上的核心设备

前道涂胶显影机是晶圆制造过程中唯一需要与光刻机联 机工作的重要工艺设备。其工艺指标和连续作业稳定性直接影 响光刻机正常工作以及晶圆图形质量，从而影响芯片良率。前 道涂胶显影机是芯片生产线上的核心设备。

（2）硬件结构复杂，涉及到数万个零部件

其一，涂胶显影机结构极为复杂，内部所涉及的功能性单 元极多，包括百余个功能单元、涉及到数万个零部件，其结构 复杂度超过绝大部分前道设备。其二，由于腔体数量众多，且 对多腔硬件一致性及工艺一致性要求又高，从而对零部件精细 加工及装配要求极为严苛。

（3）须同时保证高产能、高精度、高稳定，实现“不可能三角”

涂胶显影机是晶圆产线上唯一与光刻机联机工作的关键 工艺设备，为了匹配光刻机的产能，涂胶显影机产能必须高出 光刻机。这就要求涂胶显影机在系统调度控制百余个功能单元
的前提下保证高产能、高精度、稳定性运转。由于提高产能要加快机械运动速度，运动速度的提高又会影响精度和稳定性的控制，因此高产能、高精度同时保持稳定性运转对生产厂商提出了极高的技术要求。

（4）验证极为困难，需要主流量产光刻机配合

其他工艺设备在客户端验证都不需要与光刻机联机进行，涂胶显影设备验证需要协调客户端光刻机配合验证。目前在各大 fab 光刻机属于紧缺以及瓶颈设备，客户很难协调出量产型光刻机来协助涂胶显影设备验证工艺能力及在线使用稳定性等重要指标。近年来，为打破进口设备垄断，保障供应链安全，多家客户已协助芯源微提供主流量产光刻机开展了国产track 的验证工作。

（5）多学科高度集成

前道 Track 不仅涵盖机械运动、系统调度及控制，还涉及到温湿度及内环境控制、化学反应及化学品管控等，是多学科高度集成的现代高科技装备，对生产厂商的工艺水平、技术储备、数据积累均提出了极高的要求。

芯源微连续承担国家 02 重大专项，由后道切入前道，有多年的技术积累。公司生产的前道 Track 在机台产能、重复定位精度、温度均匀性、颗粒控制水平、在线式工艺缺陷检测技术等方面均已达到国际先进水平。此外，公司自主研发的高产能架构平台使用创新架构，通过工艺单元双侧对称布置及机械手双侧同时取片，满足光刻机不断提升的产能需求，将作为公司未来前道涂胶显影设备的通用性基础平台，覆盖浸没式等前沿光刻技术并向下兼容，应用场景广泛。
Q4：公司中报研发费用率略有下滑的原因是什么？
A：主要原因系部分研发项目处于设计阶段，研发材料采购及领用存在滞后效应，研发费用率出现阶段性降低。


Q5：公司沈阳飞云路、沈阳彩云路、上海临港这几个厂区在产
品布局方面各有什么侧重？

A：沈阳飞云路厂区主做后道先进封装及小尺寸等产品；沈阳
彩云路厂区主做前道涂胶显影机 KrF 及以下工艺机台以及前
道物理清洗机等产品；上海临港厂区主做前道涂胶显影机 ArF
及以上工艺机台以及前道化学清洗机。三个厂区分工协作，各
有侧重，共同确保公司在不同细分领域的技术研发及产品保供
交付。

Q6：公司目前生产情况如何？

A：公司目前在手订单饱满，前道产品排产均已到明年，公司
将继续加大对设计生产人员的招聘培训力度，持续推进紧缺物
料的滚动预投，确保前道产品保供交付能力。

Q7：请问公司对未来国内半导体设备市场预期是怎样的呢？
A：2021 年我国大陆半导体设备市场销售额达到 296.2 亿美
元，同比增长 58%，成为全球第一大市场，全球市场份额占比
已提升至 29%。进入 2022 年，尽管消费电子存量市场进入去
库存阶段，但高端物联网、电动车、绿色能源、工业等增量市
场尚未建立足够库存，应用端硅含量的持续提升与晶圆厂有限
的产能扩充矛盾，叠加产业链转移带来的本土化产能缺口，以
中芯国际为代表的本土晶圆厂纷纷加速扩产并提升资本开支，
为国内半导体设备行业带来了难得的发展机遇和饱满的订单
需求，未来几年半导体设备行业将持续受益。

附件清单 无

日期 2022 年 9 月 7 日