请问贵公司有在研究氧化镓MOCVD设备吗？如有，目前进度如何？如没有，未来是否有
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【问】请问贵公司有在研究氧化镓MOCVD设备吗？如有，目前进度如何？如没有，未来是否有计划？ 【答】中微公司：您好，公司MOCVD研发方面，Micro-LED应用的专用MOCVD设备开发顺利，实验室初步结果实现了优良的波长均匀性能，已付运样机至国内领先客户开展生产验证；用于碳化硅功率器件外延生产的设备正在开发中，已付运样机至国内领先客户开展验证测试；下一代用于氮化镓功率器件制造的MOCVD设备也正在按计划顺利开发中。公司也将密切关注市场发展状况，适时开发更多新型MOCVD设备，谢谢您的关注。¶¶2024-12-10 08:53:00 §
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