中微半导体设备（上海）股份有限公司

投资者关系活动记录表

股票名称：中微公司 股票代码：688012

√特定对象调研 √分析师会议

□媒体采访 □业绩说明会

投资者关系活动类别 □新闻发布会 √路演活动

□现场参观

□其他（请文字说明其他活动内容）

AEZ CAPITALMASTER FUND

AZ MultiAssetAZ Equity Greater China

Barings

Capital International, Inc.

China Re Asset Management (Hong Kong)
Company Limited

China Securities (International) Finance Holding
Company Limited

CIC HK

CLSAAsset Management Limited

Comgest Far East Limited

Dymon Asia Capital

FountainCap

Franklin Templeton Investments

GIC Private Limited

参与单位名称 Green Court Capital Management Limited

HAITONG INTERNATIONAL HOLDINGS
LIMITED

Harvest Global Investments

Hel Ved Capital

Hillview Fund

Inforesight Investment Limited

JFAsset Management Limited

KEYWISE CAPITAL

LMR PARTNERS LIMITED

Lombard Odier

LONGRISING PROSPEROUS CHINAFUND
Manulife

MiraeAsset Global Investment(HK) LTD

PinpointAsset Management Limited

Pleiad InvestmentAdvisors Limited

Principal Global Investors (HK) Ltd
Regan fund
REGENTS QUALITY STRAIGHT FUND
Schroders
Springs Capital

Sumitomo Mitsui DS Asset Management
Company, Limited
Triata Capital Limited
TRIVESTADVISORS LIMITED
Tybourne Capital Management
UBS
Wellington Management Company
Yuanta Funds
安信基金
北京福睿德投资
北京高信百诺投资
北京泓澄投资
北京星石投资
北京水印投资
北京天时开元股权基金
北京源乐晟资产
贝莱德资产
博时基金
财信证券
创金合信基金
淳厚基金
大成基金
淡水泉（北京）投资
第一北京
东方基金
东海基金
东吴基金
富国基金
富兰克林华美投信
高毅资产
光大证券研究所
广发证券资管
国华人寿保险
国金基金
国融基金
国寿安保基金
国泰君安证券
国泰君安资管
国投瑞银基金
海富通基金

海南拓璞私募基金
海通证券资产
海雅金融
杭州凯昇投资
合众资产
恒力投资
恒生前海基金
恒盈资本
恒越基金
红马投资
红杉资本
华宝基金
华富基金
华金证券
华泰证券资管
汇丰晋信基金
汇华理财
惠理基金
惠升基金
嘉合基金
建信基金
金鹰基金
开源证券
宽远资产
路博迈投资
民生通惠资产
明亚基金
南方基金
农银理财
诺安基金
平安基金
璞远资产
浦银安盛基金
人保资产
润晖投资
三星资产
山西证券
上海博鸿资产
上海东方证券资产
上海富唐资产
上海高毅资产
上海聚鸣投资
上海留仁资产
上海南土资产
上海盘京投资

上海璞远资产
上海秋晟资产
上海睿郡资产
上海盛宇股权投资基金
上海鑫岚投资
上海煜德投资
上海原点资产
上海云门投资
上海重阳投资
上银基金
申万宏源证券
深圳富盛德资产
深圳嘉石大岩资本
深圳前海海雅金融控股
深圳前海互兴资产
深圳前海精至资产
深圳前海登程资产
深圳同创佳业资产
深圳望正资产
施罗德投资
世诚投资
世亨基金
拓璞基金
太平基金
太平资产
泰信基金
天风（上海）证券资产
天治基金
西安瀑布资产
西部利得基金
西藏合众易晟投资
西南证券
相聚资本
新华基金
新华养老
新疆金谷融通股权投资
信达澳亚
信银理财
兴合基金
兴业基金
兴证全球基金
幸福人寿保险
银华基金
永赢基金
友邦保险


远洋资本

云禧投资

泽源资产

长安基金

长城财富

长江养老

长盛基金

长信基金

浙江国恬资产

浙江旌安投资

浙江永安国富资产

中国国际金融

中国人保资产

中国人寿

中海基金

中航信托

中荷人寿保险

中加基金

中泰证券自营部

中信保诚基金

中信保诚人寿保险

中信建投证券

中银基金

中银三星人寿保险

中邮创业基金

中邮人寿保险

中再资产

遵道资产

时间 2022 年 6 月

地点 移动通信端、券商策略会

公司接待人员姓名 董事会秘书兼副总经理：刘晓宇

证券事务代表：胡潇

2016-2021 年中微公司营业收入持续增长，从
6.10 亿元上升至 31.08 亿元，CAGR 达 38.52%，
公司新产品与新客户持续拓展，刻蚀设备销量
提升显著且持续。公司 2022 年第一季度收入
投资者关系活动主要内容介绍 9.49 亿元，较上年同期增加约 3.46 亿元，同比
增长 57.31%。

问答环节主要内容：

1、请问公司受疫情影响如何？疫情对二季度业
绩没有影响？
答：在疫情初期，公司做好了相应准备：闭环生产、物流通行证、海关通关等等。公司密切关注疫情动态同时采取了防疫应急措施，认真贯彻国家和上海市政府关于疫情防控的决策部署，在政府相关部门的支持和公司的努力下，公司生产运营基本正常。
2、请问刻蚀设备的新签订单情况和趋势？
答：公司的刻蚀设备在工艺覆盖度方面不断提升，在客户端验证的工艺进度良好，目前订单情况饱满。
3、2021 年公司刻蚀设备收入 20 亿元，同比提升 55.4%，公司 CCP 设备已批量应用于国内外一线客户的集成电路生产线,并持续提升市场占有率,在部分客户市场占有率已进入前三位甚至前二位。请公司结合下游需求情况说明公司刻蚀设备的高速增长是否可持续，并说明公司将采取哪些措施进一步提升公司刻蚀设备产品的技术优势以及市占率水平。
答：随着国际上先进芯片制程从 14 纳米到 10纳米阶段向 7 纳米、5 纳米及更先进工艺的方向发展，当前光刻机受光波长的限制，需要结合刻蚀和薄膜设备，采用多重模板工艺，利用刻蚀工艺实现更小的尺寸，使得刻蚀技术及相关设备的重要性进一步提升。
公司为进一步提升公司刻蚀设备产品的技术优势以及市占率水平，采取的措施包括但不限于：（1）公司将不断完善研发管理机制和创新激励机制，对在技术研发、产品创新、专利申请等方面做出突出贡献的技术研发人员给予奖励，激发技术研发人员的工作热情。
（2）公司将持续加大研发投入力度，搭建更好的研发实验环境，为技术突破和产品创新提供重要的基础和保障。
（3）设备的研发方面，公司在持续改善现有设备的性能的同时，将根据先进逻辑芯片和高密度存储 DRAM 和 3DNAND 芯片的不同刻蚀需求，细分产品，开发不同的硬件特征，提高产品针对不同应用的刻蚀性能，满足不同客户的需求。与此同时，公司会根据客户的研发需求，定义下一代产品的技术指标和技术路线，开发能满足客户需求的新产品。

4、公司目前的收入里面，刻蚀产品和 MOCVD产品的占比情况？
答：2021 年营业收入 31.08 亿元，其中刻蚀设备收入为 20.04 亿元，占收入比例约为 64.48%；MOCVD 设备收入为 5.03 亿元，占收入比例约为16.18%。2022年第一季度营业收入9.49亿元，其中刻蚀设备收入为 7.14 亿元，占收入比例约为 75.24%；MOCVD 设备收入为 0.42 亿元，占收入比例约为 4.43%。
5、如何看待 ICP 业务的成长空间？
答：根据机构统计数字，2021 年 ICP 市场大概是 90-100 亿美元左右。中微的刻蚀团队拥有丰富的 ICP 设备开发经验，尹志尧博士也是全球ICP 设备技术的主要推动者之一。公司的 ICP产品进入市场后，付运机台数量增长迅速，2021
年 ICP 设备交付 134 腔，同比增长 235%。公司
的 ICP 设备用了很多的差异化设计，并且有双台机和单台机两种配置可供客户选择，在高端配置上能满足客户需求。
6、公司 MOCVD 取得了很好的份额和定位，如何看待这块业务未来的成长性？
答：MOCVD 设备目前在照明、显示市场应用
广泛。更重要的是 Mini LED 和 Micro LED 市场
的拓展，相关市场的发展前景很大。MOCVD设备重要的应用还包括功率器件等。市场机构预测到 2026 年，全球每年需求超过 800 台MOCVD 设备。中微公司在其中三个领域有开发相关产品，公司将继续开发照明、显示领域，包括 Mini LED，Micro LED，以及功率器件等等领域的外延设备。公司预计可以覆盖大约75%的 MOCVD 设备市场。未来市场空间非常广阔。
7、刻蚀机目前对标国际先进公司，公司的不足主要表现在哪些方面？
答：作为国内刻蚀设备龙头企业，公司在整个半导体设备国产化进程中具有明显优势。公司长期保持大规模、高强度的研发投入，但对标国际半导体设备巨头的研发布局和研发规模，公司仍有较大差距。公司将持续提升在技术研发方面的投入水平，进一步缩小与海外同行业巨头在研发方面的差距。

8、公司目前南昌新基地的建设情况如何？建成后的产品布局情况如何？
答：在江西省南昌市高新区约 14 万平方米的研发生产基地已全面封顶，计划将于 2022 年内陆续投入生产。南昌产业化基地主要承担较为成熟产品的大规模量产及部分产品的研发升级工作。
9、请问公司在薄膜设备方面的进展如何？是投资相关公司还是自己研发生产？
答：公司目前已经组建团队在开发 LPCVD 设备和 EPI 设备，研发进展按计划进行中，同时公司将在适当时机通过并购等外延式成长途径扩大产品和市场覆盖。
10、MOCVD 业务在手订单情况不错，MOCVD毛利率提升幅度大的原因是什么？
答：新的产品型号 Prismo UniMax™主要针对Mini-LED 设计。性能、复杂性提高很多，提供更多的价值给用户，所以毛利率有明显增长。11、公司在先进制程的刻蚀装备上大致情况如何？
答：公司积极关注下游市场扩产计划并努力争取各种可能的市场机会，公司的刻蚀设备在国内主要客户端市场占有率不断提升。在逻辑集成电路制造环节，公司开发的 12 英寸高端刻蚀设备已运用在国际知名客户 65 纳米到 5 纳米等先进的芯片生产线上；同时，公司根据先进集成电路厂商的需求，已开发出小于 5 纳米刻蚀设备用于若干关键步骤的加工，并已获得行业领先客户的批量订单。公司目前正在配合客户需求，开发新一代刻蚀设备和包括更先进大马士革在内的刻蚀工艺，能够涵盖 5 纳米以下更多刻蚀需求和更多不同关键应用的设备。在 3DNAND 芯片制造环节，公司的电容性等离子体刻蚀设备可应用于 64 层和 128 层的量产，同时公司根据存储器厂商的需求正在开发新一代能够涵盖 128 层及以上关键刻蚀应用以及相对应的极高深宽比的刻蚀设备和工艺。此外，公司的电感性等离子刻蚀设备已经在多个逻辑芯片和存储芯片厂商的生产线上量产，根据客户的技术发展需求，正在进行下一代产品的技术研发，以满足 5 纳米以下的逻辑芯片、1X 纳米的
DRAM 芯片和 128 层以上的 3D NAND 芯片等
产品的 ICP 刻蚀需求，并进行高产出的 ICP 刻蚀设备的研发。
12、公司产品零部件从外国进口的比例？是否有受限风险？
答：目前公司产品有部分零部件需要进口，公司采取多厂商策略保障零部件及时供应。公司一直坚持合法合规经营，并严格遵守各经营地的包括出口管制在内相关法律法规。
13、请问公司刻蚀产品和 MOCVD 产品零部件国产化率情况？
答：公司目前刻蚀设备的零部件国产化率大约60%，MOCVD 设备的零部件国产化率大约80%。
14、请问公司目前持有睿励仪器的股权比例？是否有委派董事？
答：公司目前持有睿励仪器股权比例为 29.36%。尹志尧博士担任睿励仪器董事长。
15、请问公司在境外的拓展情况？
答：公司产品已进入国际供应链，公司在全球主要市场也进行渠道建设，已拥有 6 个境外子公司、15 个区域办公室。
16、公司在年报披露了企业文化及治理内容，这些措施如何使企业发展受益？
答：公司在2021年总结自成立以来的发展经验，全面梳理公司核心价值观和企业文化，总结了四个十大，即“产品开发的十大原则”、“战略销售的十大准则”、“营运管理的十大章法”和“精神文化的十大作风”。公司通过总结并宣导“四个十大”，落实科学管理和营运体系，倡导先进的企业文化，不断提升企业经营质量，提高员工的向心力和积极性，打造能孕育、保持创造力和发展力的中微大平台。同时，公司通过文化宣导和输出，希望和海内外合作伙伴一起努力实现技术进步和并推动产业的快速发展。