中微半导体设备（上海）股份有限公司

投资者关系活动记录表

股票名称：中微公司 股票代码：688012

√特定对象调研 √分析师会议

□媒体采访 □业绩说明会

投资者关系活动类别 □新闻发布会 √路演活动

□现场参观

□其他（请文字说明其他活动内容）

AZ Investment Management

BaringAsset ManagementAsia Limited

BlackRockAsset Management NorthAsia Limited
Expecta Capital

Fidelity International

Franklin Templeton Investments

Greenwoods Asset Management Hong Kong
Limited

Haitong International AM HK

Hel Ved Capital

Hillhouse Capital Management Limited

LMR Partners Limited

Manulife Investment

MassAve Global

Matthews International Capital

参与单位名称 PacificAlliance Group

POINT72ASSOCIATES, LLC

Prime Capital Management

Prudence Investment Management Hong Kong
Limited

Rays Capital

SamsungAsset Management Hong Kong Limited
Schroder Investment Management

Sumitomo Mitsui DSAsset

Wellington Management Company

WillingCap

爱心人寿保险

安联保险资管

安信基金

百年保险资管

北京诚盛投资

北京高信百诺投资

北京宏道投资
北京泓澄投资
北京鸿道投资
北京九颂山河投资
北京凯读投资
北京乐瑞资管
北京神农投资
北京逸原达投资
北京源乐晟资管
北京遵道资管
彼得明奇基金
碧云资本
博道基金
博时基金
财通基金
财通证券资管
财信证券
常春藤资管
昶享资管
辰翔投资
晟盟资管
翀云投资
创富兆业金融
创金合信基金
淳厚基金
大成基金
大家资产
大摩华鑫基金
丹羿投资
淡水泉投资
德华安顾人寿保险
第一创业证券
第一曼哈顿
东方阿尔法
东方证券
东海基金
东海资管
东吴基金
东吴证券
东兴基金
敦和资管
方圆基金
丰琰投资
复霈投资
富安达基金

富达基金
富国基金
富邻投资
富荣基金
高维资产
歌汝私募基金
歌汝投资
格林基金
工银安盛资管
工银瑞信基金
观富资产
光大永明资产
光大证券
广东海辉华盛证券投资基金
广发基金
广发证券
广发证券资管
广州昭时投资
国华人寿保险
国际信托有限公司
国金基金
国联安基金
国联人寿
国联证券
国融基金
国寿安保基金
国泰财产保险
国泰基金
国泰君安证券
国投聚力投资
国投瑞银基金
国新投资
国信证券
国元证券
海富通基金
海通证券
海通证券资管
杭州萧山泽泉投资
杭州宇迪投资
合众资管
和谐汇一资管
恒识投资
恒越基金
横琴新橙资管
弘毅远方基金

红华资本
红杉资本
红塔红土基金
红塔证券
红土创新基金
泓德基金
华安基金
华安证券
华宝基金
华宸未来
华创证券
华福证券
华富基金
华金资管
华美国际投资
华润元大基金
华商基金
华夏基金
华夏久盈资管
汇丰晋信基金
汇添富基金
惠升基金
混沌投资集团有限公司
嘉实基金
建信基金
金恩投资有限公司
金广资管
金信基金
金鹰基金
景林资产
景林资管
景顺长城基金
景熙资管
九泰基金
九祥资管
久期投资有限公司
玖鹏资产管理中心
聚鸣投资
君康人寿
开源证券
凯丰投资
凯石基金
雷根基金
雷根资管
理成资管

利位投资
聆泽投资
领骥资本
龙航投资
路博迈投资
茂典资管
美国友邦保险
弥远投资
民森投资有限公司
民生通惠资管
明河投资
明亚基金管理
明曜投资
摩根士丹利华鑫基金
南方基金
南京双安资管
南京证券
南土资产
南土资管
农银汇理基金
诺安基金
诺德基金
盘京投资管理中心
鹏华基金
鹏扬基金
平安基金
平安养老
平安银行
璞远资产
璞远资管
朴信投资
浦东发展银行
浦泓投资
浦银安盛基金
浦银理财
启态易方投资
前海华杉投资
前海精至资管
前海开源基金
前海人寿保险
勤远投资
清水源投资
秋晟资管
仁灏投资
仁桥北京资管

融捷资管
睿亿投资
睿远基金
润晖投资
润樽投资
三井住友资管
三亚鸿盛资管
上投摩根基金
上银基金
申万宏源证券
深梧资管
盛宇股权投资基金
师正投资
时机资本
世诚投资
世纪致远投资
首创证券
太平资管
泰达宏利基金
泰康养老保险
天安人寿保险
天虫资本
天弘基金
天津易鑫安资管
天倚道投资
天治基金
恬昱投资
彤源投资
万和证券
望正资管
沃珑港投资
五矿证券
西部利得基金
西部证券
西藏东财基金
西藏合众易晟投资
西藏源乘投资
西藏中睿合银投资
西南证券
禧弘资管
仙人掌资管
先锋基金
贤盛投资
相聚资本
湘财基金

新华基金
新华资产
鑫然投资
鑫元基金
信银理财
兴全基金
兴业基金
兴业信托
兴业银行
幸福人寿
烜鼎资管
寻常投资
循远资产
亚太财产保险
阳光资产管理
易方达基金
易米基金
银河基金
银华基金
银叶投资
胤胜资管
英大保险资管
盈沣投资
永安国富资管
永赢基金
甬兴证券资管
涌津投资
涌竹投资
友邦保险
于翼资产
裕晋投资
煜德投资
誉华资产
原点资管
圆信永丰基金
源峰基金
源乐晟
远信投资
展博投资
长安基金
长城基金
长江证券资管
长盛基金
长信基金
招商基金

招商信诺资管
招商证券
兆天投资
肇万资管
浙江壁虎投资
浙江九章资管
浙江思悦投资
浙江英睿投资
浙江浙商证券资管
浙商基金
正松投资
致合杭州资管
致顺投资
中兵财富资产管理
中才中环投资
中国人保资管
中国人民养老保险
中国人寿养老保险
中国人寿资管
中海基金
中加基金
中金基金
中金资管
中科沃土基金
中科院资本
中欧瑞博投资管理
中融基金
中泰创展珠海横琴资管
中信保诚基金
中信保诚人寿保险
中信建投基金
中信建投证券
中信建投资管
中信证券
中信资本
中银国际证券
中银基金
中银理财
中邮创业基金
中邮人寿保险
中证信资本
中植启星投资
重阳投资
朱雀基金
紫阁投资


棕榈湾投资

时间 2022 年 5 月

地点 移动通信端、券商策略会

董事长兼总经理：尹志尧

财务负责人兼副总经理：陈伟文

董事会秘书兼副总经理：刘晓宇

公司接待人员姓名 证券事务代表：胡潇

财务部副总监：庄宇峰

董事会办公室经理：周菡清

董事会办公室经理：程雯婕

公司 2022 年第一季度业绩情况：

公司本期营业收入 9.49 亿元，较上年同期增加
约 3.46 亿元，同比增长 57.31%，主要系：（1）
受益于半导体设备市场发展及公司产品竞争优
势，本报告期刻蚀设备收入为 7.14 亿元，较上
年同期增长约 105.03%；（2）由于公司新签署的
Mini LED MOCVD 设备规模订单在本期尚未确认
收入，MOCVD 设备本期收入为 0.42 亿元，较上
年同期下降约 68.59%。本期归属于上市公司股
东的扣除非经常性损益的净利润为 1.86 亿元，
较上年同期的 0.11 亿元增加 1.75 亿元，同比增
长 1,578.18%，主要系本期营业收入较上年同期
增加 3.46 亿元，同时本期毛利率从去年的
40.92%增长至 45.47%，增加 4.55 个百分点，本
期毛利较上年同期增加约 1.85 亿元。本期归属
投资者关系活动主要内容介绍 于上市公司股东的净利润为 1.17 亿元，较上年
同期减少约 0.21 亿元，下降约 14.94%，主要系
本期收入和毛利增长下扣除非经常性损益的净
利润较上年同期增加 1.75 亿元，但本期非经常
性损益较上年同期减少约 1.96 亿元。非经常性
损益的变动主要包括：（1）本期计入当期损益
的政府补助收益为 0.04 亿元，较上年同期的
1.69 亿元减少约 1.65 亿元；（2）由于公司持有
的中芯国际和天岳先进的股票价格在本期有较
大下降，公司本期产生相关的公允价值变动损
失 1.01 亿元，而上年同期公司股权投资为损失
0.24 亿元，该因素导致本期利润较上年同期减
少约 0.77 亿元。

问答环节主要内容：

1、公司近年业绩增长迅速，和海内外的设备公司相比，近些年公司能取得出色的经营成果，有哪些独特的竞争力？
答：第一、公司必须有自主的知识产权、独特的创新设计和产品的差异化。第二、公司必须在半导体设备市场被进口设备占主导的情况下，制定切实可行的快速打入市场的办法，取得顾客对公司的信任。公司自主研发的产品在同样的设备占地面积、同样的资本投入下，具备更高的输出效率。第三、设备产品要比较容易维护，比较容易升级等等，更好的提高客户满意度。
2、请问公司受疫情影响如何？公司目前生产是否受到影响？
答：公司密切关注疫情动态同时采取了防疫应急措施，认真贯彻国家和上海市政府关于疫情防控的决策部署，在政府相关部门的支持和公司的努力下，公司目前生产运营基本正常。
3、2021 年公司刻蚀设备收入 20 亿元，同比提升 55.4%，公司 CCP 设备已批量应用于国内外一线客户的集成电路生产线,并持续提升市场占有率,在部分客户市场占有率已进入前三位甚至前二位。请公司结合下游需求情况说明公司刻蚀设备的高速增长是否可持续，并说明公司将采取哪些措施进一步提升公司刻蚀设备产品的技术优势以及市占率水平。
答：随着国际上先进芯片制程从 14 纳米到 10纳米阶段向 7 纳米、5 纳米及更先进工艺的方向发展，当前光刻机受光波长的限制，需要结合刻蚀和薄膜设备，采用多重模板工艺，利用刻蚀工艺实现更小的尺寸，使得刻蚀技术及相关设备的重要性进一步提升。
公司为进一步提升公司刻蚀设备产品的技术优势以及市占率水平，采取的措施包括但不限于：（1）公司将不断完善研发管理机制和创新激励机制，对在技术研发、产品创新、专利申请等方面做出突出贡献的技术研发人员给予奖励，激发技术研发人员的工作热情。
（2）公司将持续加大研发投入力度，搭建更好的研发实验环境，为技术突破和产品创新提供重要的基础和保障。
（3）设备的研发方面，公司在持续改善现有设备的性能的同时，将根据先进逻辑芯片和高密
度存储 DRAM 和 3DNAND 芯片的不同刻蚀需求，细分产品，开发不同的硬件特征，提高产品针对不同应用的刻蚀性能，满足不同客户的需求。与此同时，公司会根据客户的研发需求，定义下一代产品的技术指标和技术路线，开发能满足客户需求的新产品。
4、公司目前的收入里面，刻蚀产品和 MOCVD产品的占比情况？
答：2021 年营业收入 31.08 亿元，其中刻蚀设备收入为 20.04 亿元，占收入比例约为 64.48%；MOCVD 设备收入为 5.03 亿元，占收入比例约为16.18%。2022年第一季度营业收入9.49亿元，其中刻蚀设备收入为 7.14 亿元，占收入比例约为 75.24%；MOCVD 设备收入为 0.42 亿元，占收入比例约为 4.43%。
5、如何看待 ICP 业务的成长空间？
答：根据机构统计数字，2021 年 ICP 市场大概是 90-100 亿美元左右。中微的刻蚀团队拥有丰富的 ICP 设备开发经验，尹志尧博士也是全球ICP 设备技术的主要推动者之一。公司的 ICP产品进入市场后，付运机台数量增长迅速，2021
年 ICP 设备交付 134 腔，同比增长 235%。公司
的 ICP 设备用了很多的差异化设计，并且有双台机和单台机两种配置可供客户选择，在高端配置上能满足客户需求。
6、公司 MOCVD 取得了很好的份额和定位，如何看待这块业务未来的成长性？
答：MOCVD 设备目前在照明、显示市场应用
广泛。更重要的是 Mini LED 和 Micro LED 市场
的拓展，相关市场的发展前景很大。MOCVD设备重要的应用还包括功率器件等。市场机构预测到 2026 年，全球每年需求超过 800 台MOCVD 设备。中微公司在其中三个领域有开发相关产品，公司将继续开发照明、显示领域，包括 Mini LED，Micro LED，以及功率器件等等领域的外延设备。公司预计可以覆盖大约75%的 MOCVD 设备市场。未来市场空间非常广阔。
7、公司2021年末合同负债金额同比提升132%，这块主要是什么？
答：合同负债为公司的预收账款。公司 2021 年
新签订单金额达 41.3 亿元，同比增长 90.5%，因此 2021 年末合同负债的余额较 2020 年末有较大增长。
8、请问公司在薄膜设备方面的进展如何？是投资相关公司还是自己研发生产？
答：公司目前已经组建团队在开发 LPCVD 设备和 EPI 设备，研发进展按计划进行中，同时公司将在适当时机通过并购等外延式成长途径扩大产品和市场覆盖。
9、MOCVD 业务在手订单情况不错，MOCVD毛利率提升幅度大的原因是什么？
答：新的产品型号 Prismo UniMax™主要针对Mini-LED 设计。性能、复杂性提高很多，提供更多的价值给用户，所以毛利率有明显增长。10、在网上看到有消息说公司核心技术人员离职，请问有这事发生吗？
答：公司核心技术人员及团队稳定。公司近几年研发人员持续增长，2021 年研发人员同比2020 年增长约 20%，目前研发人员数量占公司总人数比约为 40%。公司建立了多元化的人才引进体系和职业发展体系，通过扁平化的薪酬制度、有效的激励机制、良好的职业发展平台，助力员工实现自身职业理想，与企业共同成长。11、公司在先进制程的刻蚀装备上大致情况如何？
答：公司积极关注下游市场扩产计划并努力争取各种可能的市场机会，公司的刻蚀设备在国内主要客户端市场占有率不断提升。在逻辑集成电路制造环节，公司开发的 12 英寸高端刻蚀设备已运用在国际知名客户 65 纳米到 5 纳米等先进的芯片生产线上；同时，公司根据先进集成电路厂商的需求，已开发出小于 5 纳米刻蚀设备用于若干关键步骤的加工，并已获得行业领先客户的批量订单。公司目前正在配合客户需求，开发新一代刻蚀设备和包括更先进大马士革在内的刻蚀工艺，能够涵盖 5 纳米以下更多刻蚀需求和更多不同关键应用的设备。在 3DNAND 芯片制造环节，公司的电容性等离子体刻蚀设备可应用于 64 层和 128 层的量产，同时公司根据存储器厂商的需求正在开发新一代能够涵盖 128 层及以上关键刻蚀应用以及相对应
的极高深宽比的刻蚀设备和工艺。此外，公司的电感性等离子刻蚀设备已经在多个逻辑芯片和存储芯片厂商的生产线上量产，根据客户的技术发展需求，正在进行下一代产品的技术研发，以满足 5 纳米以下的逻辑芯片、1X 纳米的
DRAM 芯片和 128 层以上的 3D NAND 芯片等
产品的 ICP 刻蚀需求，并进行高产出的 ICP 刻蚀设备的研发。
12、公司产品零部件从外国进口的比例？是否有受限风险？
答：目前公司产品有部分零部件需要进口，公司采取多厂商策略保障零部件及时供应。公司一直坚持合法合规经营，并严格遵守各经营地的包括出口管制在内相关法律法规。
13、请问公司刻蚀产品和 MOCVD 产品零部件国产化率情况？
答：公司目前刻蚀设备的零部件国产化率大约60%，MOCVD 设备的零部件国产化率大约80%。
14、请问公司目前持有睿励仪器的股权比例？是否有委派董事？
答：公司目前持有睿励仪器股权比例为 29.36%。尹志尧博士担任睿励仪器董事长。
15、请问公司在境外的拓展情况？
答：公司产品已进入国际供应链，公司在全球主要市场也进行渠道建设，已拥有 6 个境外子公司、15 个区域办公室。
16、公司今年发布了 ESG 报告，后续是否会持续发布？
答：公司致力于为客户和市场提供性能优越、高生产效率和高性价比产品，促进技术创新、引领行业发展的同时，高度重视在环境、社会及管治（ESG）等领域的建设，公司把 ESG 作为公司持续发展大政方针，给产业和社会，给国家和全球在经济和社会可持续发展上贡献更大的力量。我们后续也会持续发布 ESG 报告。17、公司在年报披露了企业文化及治理内容，这些措施如何使企业发展受益？
答：公司在2021年总结自成立以来的发展经验，
全面梳理公司核心价值观和企业文化，总结了四个十大，即“产品开发的十大原则”、“战略销售的十大准则”、“营运管理的十大章法”和“精神文化的十大作风”。公司通过总结并宣导“四个十大”，落实科学管理和营运体系，倡导先进的企业文化，不断提升企业经营质量，提高员工的向心力和积极性，打造能孕育、保持创造力和发展力的中微大平台。同时，公司通过文化宣导和输出，希望和海内外合作伙伴一起努力实现技术进步和并推动产业的快速发展。