据新闻报道，公司子公司muetec之前中标上海新微光刻对准精度检验机是否属实？能
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【问】据新闻报道，公司子公司muetec之前中标上海新微光刻对准精度检验机是否属实？能否简要介绍一下公司子公司muetec生产的光刻对准精度检验机？ 【答】天准科技：您好，感谢对公司的关注。Muetec于2021年中标上海新微套刻误差量测设备。Muetec的套刻（Overlay）误差量测设备可覆盖65-90nm工艺节点，目前公司苏州团队和MueTec团队正在合作开发更先进制程的套刻误差量测设备。¶¶2023-06-15 08:20:00 §
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