【问】请问公司用于汽车芯片的碳化硅离子注入机研发成功了吗？目前市场情况如何？ 【答】万业企业：随着芯片制造工艺不断走向精密化，市场对于集成电路设备的性能提出了更高的技术要求。对离子注入而言，芯片设计的日益复杂，对离子注入机提出更高的技术要求，如高能量、高精度、高均匀度、低污染等，所需的离子注入工序亦相应增加。基于已有的技术积累，万业企业旗下凯世通已研发面向碳化硅的高温离子注入机，计划今年年内搬入客户端验证。未来公司将持续强化在本土半导体设备市场中的竞争力，持续迭代升级、优化现有设备和工艺，力求不断推出面向未来发展需求的新工艺、新设备。感谢您的关注！¶¶2024-07-22 09:27:00 §