【问】美国限制全环绕栅极GAA:全环绕栅极GAA尖端芯片技术,先进芯片架构。
GAA工艺核心在于多次光刻、刻蚀、沉积:核心步骤通过原子层沉积(ALD)技术完成!!公司沉积清洗设备是否可以用在GAA工艺上? 【答】
国林科技:尊敬的投资者,您好。公司薄膜沉积和臭氧清洗设备可以应用于GAA工艺,目前半导体清洗方面的业务占公司主营业务收入比重较小。感谢您的关注。感谢您的关注。¶¶2024-11-28 11:30:11 §
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