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晶瑞电材:ArF高端光刻胶研发工作在有序开展中
质子核力
2024-07-22 22:24:41
来自上海
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财联社7月22日电,
晶瑞电材
在互动平台表示,公司共有5台光刻机,分别用于紫外宽谱、g线、i线、KrF和ArF产品的研发以及量产,ArF高端光刻胶研发工作在有序开展中,部分样品已开展客户送样验证工作。
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