【问】“今年工博会重点推出的去光栅去磁栅的产品举例，“把光栅磁棚去掉后，价格就会下降很多。”同时，直为的技术实力又能够保证产品在去掉光栅磁栅后精度做到士5um的把控。“高精度路线”是直为坚定的发展方向，直为瞄准半导体、曝光机、光刻机等高端应用市场，运用直为拥有一体化气浮技术、传感器技术、电磁技术、高精度控制算法等来解决目前高端装备亟待解决的问题。”上述新闻属实吗？直为研发应用还涉及半导体光刻机领域吗？ 【答】麦格米特：您好，公司控股子公司苏州直为精驱控制技术有限公司，推出了低成本的在轨检测直线模组-去光栅磁栅技术，苏州直为瞄准半导体、光伏、锂电等高精度直线电机和高精度定位平台，主要包括气浮定位平台、气浮转台、力控技术，把机械、电磁、气浮技术较好的融合到一起，目前已开发出IC载板的曝光平台，谢谢。¶¶2023-11-24 17:17:05 §