电子行业国内半导体设备招投标月度数据跟踪第5期（2021年11月）：长江存储近两个月设备招标量上升

　　国内半导体设备10月招投标数据（仅限于已公布的数据）

　　国内晶圆厂商招标数据：

　　中芯国际（绍兴）：PVD+1台，CVD+10台，干法刻蚀+5台，前道检测+6台，前道计量+1台，湿法清洗+5台，晶圆盒清洗+2台，涂胶显影+1台，后道测试机+6台，探针台+20台；

　　华虹半导体：CVD+1台；

　　华力微电子：CMP+1台；

　　长江存储：PVD+3台，CVD+25台，干法刻蚀+3台，湿法清洗+1台，CMP+2台，退火+4台，离子注入+6台，氧化扩散+2台，后道测试机+4台；

　　上海积塔半导体：湿法刻蚀+1台，去胶+1台，分选机+1台，后道封装+1台；

　　华润微：CVD+1台；

　　国内设备厂商中标数据：

　　北方华创：干法刻蚀+2台；

　　华峰测控：后道检测+5台；

　　芯源微：湿法清洗+5台；

　　沈阳拓荆：CVD+8台；

　　屹唐半导体：退火+2台；

　　半导体设备行业投资建议：建议关注上市公司包括北方华创、中微公司、至纯科技、万业企业（凯世通）、芯源微、盛美上海、长川科技、华峰测控、华兴源创、精测电子、晶盛机电、光力科技、盛剑环境、正帆科技、ASMPacific（H）；非上市公司有屹唐半导体、华海清科、沈阳拓荆、上海微电子、睿励科学仪器、东方晶源。

　　半导体材料行业投资建议：建议关注上市公司包括雅克科技、彤程新材、晶瑞电材、鼎龙股份、安集科技、上海新阳、江化微、南大光电、神工股份、立昂微、沪硅产业-U、华特气体、金宏气体。

　　风险分析：国产化进度不及预期，晶圆厂扩张不及预期，技术研发不及预期。