公告日期：2020-07-07

中导光电:关于发布新产品的公告
一、产品情况
近日，公司研制的首台国产II代线自动线宽测量机(CDOL)正式出机TCL
华星T7工厂。
自动线宽测量机主要应用于平板显示前道制程的线宽测量环节。此前，公司
开发研制的6代自动线宽测量机已经用于高端G6柔性OLED工艺。
本次出货的lI代设备应用于大尺寸G11面板线宽测量工艺，最高测量精度
为亚微米级，重复精度(3a)达到20nm，是第一台国产11代平板显示(FPD)
行业线宽测量设备。
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