上海将建设国家集成电路装备材料产业创新中心为支持上海集成电路产业发展，国家部委联
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上海将建设国家集成电路装备材料产业创新中心
为支持上海集成电路产业发展，国家部委联合上海市制定了“上海方案”，着力打造具有国际影响力的集成电路产业创新高地。
为提升持续创新能力，国家发展改革委支持上海建设国家集成电路装备材料产业创新中心
《上海市推进新型基础设施建设行动方案（2020-2022年）》公布。 该行动方案提出，上海将建设国家集成电路装备材料产业创新中心等若干先进产业创新基础设施。
国家大基金旗下硅产业集团，上海硅产业集团、上海微电子装备集团,南大光电等企业一起投资设立了上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司（以下简称“创新中心”）
为支持上海集成电路产业发展，国家部委联合上海市制定了“上海方案”，着力打造具有国际影响力的集成电路产业创新高地。
为提升持续创新能力，国家发展改革委支持上海建设国家集成电路装备材料产业创新中心
《上海市推进新型基础设施建设行动方案（2020-2022年）》公布。 该行动方案提出，上海将建设国家集成电路装备材料产业创新中心等若干先进产业创新基础设施。
国家大基金旗下硅产业集团，上海硅产业集团、上海微电子装备集团,南大光电等企业一起投资设立了上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司（以下简称“创新中心”）
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