中微半导体设备（上海）股份有限公司

投资者关系活动记录表

股票名称：中微公司 股票代码：688012

√特定对象调研 √分析师会议

□媒体采访 √业绩说明会

投资者关系活动类别 □新闻发布会 □路演活动

√现场参观

□其他（请文字说明其他活动内容）

上海宇摩投资管理有限公司

卓岭基金

IGWT Investment

东兴证券

Acuity Knowledge

西南证券

国泰基金

中信保诚基金

大成资本

广州市乐鑫股权投资基金管理有限公司

远望角投资

上海煜德投资管理中心（有限合伙）

建信基金

中颖投资

丰琰投资

参与单位名称 西藏合众易晟投资管理有限公司

兴银基金

上海煜德投资管理中心

浙江殷实投资

中欧瑞博投资管理股份有限公司

安徽中珏投资

上海钧犀实业有限公司

荷兰汇盈投资

远洋资本

开源证券

招商基金

汇丰晋信基金

中投公司

海通证券

东亚前海证券

北京成阳资产管理有限公司

成都市柏然私募基金管理有限公司

西南证券股份有限公司
广发基金
APGASSET Management
安聯证券投资信托股份有限公司
中银资管
长江养老
浙商自营
兴业银行理财
元大投信
浙商资管
招银国际资本管理（深圳）有限公司
中国人寿资产
上海创徒投资
中金公司
华泰新产业基金
博时基金
The Pictet Group
海通创新
兴业基金
溪牛投资管理（北京）有限公司
天風國際
汐泰投资
明示伙伴基金
龙石资本
东吴基金
友邦保险资产管理
鹏城基石
嘉实基金
泰康养老保险股份有限公司
海富通基金管理有限公司
领骥资本
常亿资本
上投摩根基金管理有限公司
上海仁布投资管理有限公司
鹏扬基金
復華投信
安邦资产管理有限责任公司
Nomura International
盤厚资本
BaringAsset Management （Asia） Limited中信证券
广发证券
巨然管理咨询有限公司
招商银行
上海杰讽投资管理有限公司

丰岭资本
国海证券
华夏基金
西藏源乘投资管理有限公司
国联安基金
中信建投基金
太平基金
三井住友德思资产管理股份有限公司
上海肇万资产管理有限公司
浙江锦和投资管理有限公司
百年保险资产管理
国融基金
上海混沌投资集团有限公司
上海弈慧投资管理有限公司
长江证券股份有限公司
青岛韬观投资
人保资产
聆泽投资
山合投资
碧云资本
中建投资本
安信基金
云杉投资
New Silk Road Investment
大成基金
上投摩根
浙江韶夏投资管理有限公司
招商证券香港资管
永安国富
申万宏源资管
易知（北京）投资有限责任公司
淡泰资本
南华基金
东亚联丰投资管理（深圳）有限公司
江西济民可信集团
深圳前海精至资产管理有限公司
上海杰沨投资管理有限公司
云能资本
创金合信基金
江海证券资管
国信证券
前海人寿保险股份有限公司
云南能投资本投资有限公司
招商证券
江海证券

江海证券有限公司
德邦证券有限公司
国融资本
涌津投资
锐意资本
北京永瑞财富投资管理有限公司
交银康联资产管理有限公司
财信证券
上海彤源投资发展有限公司
汇蠡投资
Centerline IM
中华联合
毅达股权投资基金管理有限公司
景林资产
国金证券
国泰君安证券投资部
民生通惠资产管理有限公司
平安银行
天风证券研究所
澄怀投资
淡水泉投资
财通证券
杭银理财
JPMorganAsset Management (China) Limited杭州锦翼投资
国盛证券
泰康资管
中银国际证券
华泰证券
聚鸣投资
深圳市微明恒远投资管理有限公司
中金基金管理有限公司
摩根士丹利华鑫基金
工银瑞信
深圳市凡石资本管理有限公司
上海乘安资产管理有限公司
路博邁基金
Chicago Pacific
华安财保资产管理有限责任公司
顺领资产
上海顺领资产管理中心（有限合伙）
中天证券股份有限公司（自营）
富荣基金
朗润利方资产管理有限公司
兴业证券

淳厚基金
国元证券
方正证券
上海毅木资产管理有限公司
敦和资产
杭州玖龙资产管理有限公司
北京和信金创投资管理有限公司
宜信投资
上海保银投资管理有限公司
臻远投资
LSQ management
國泰投信（投资部）
灏浚投资
深圳睿泽资本
上海石锋资产管理公司
东北证券
九派资本
中银国际证券股份有限公司
北京万银华富资产管理有限公司
首创证券有限责任公司
光合未来(青岛)投资管理有限公司
杭州宽合投资
上海慧琛私募基金
杭州润洲投资管理有限公司
华安证券
上海世诚投资管理有限公司
光大保德信基金
中邮创业基金管理股份有限公司
开源证券股份有限公司
北京乾和私募基金管理有限公司
誉华资产管理（上海）有限公司
红象投资管理有限公司
安信证券
中信保诚基金公司
未来资产大宇证券
亚太财产保险有限公司
平安基金管理有限公司
乐瑞资产
中信理财权益
长江证券研究所
国君资管
北京市星石投资管理有限公司
长江养老保险股份有限公司
广发证券研究所
上海朴信投资管理有限公司

青骊投资
金信基金
元昊投资
华元恒道（上海）投资管理有限公司
中信证券股份有限公司
国投聚力投资管理有限公司
山东明湖投资管理有限公司
华菁证券（资管）
华安基金
国信证券股份有限公司
格林基金
天麒投资有限公司
光大保德信
涌德瑞烜（青岛）私募基金管理有限公司
融通基金
敦和资产管理有限公司
西部利得基金
北京神农投资
华泰证券资产管理有限公司
爱建证券（自营）
殷实（广州）私募证券投资基金管理有限公司上海宏流投资管理有限公司
大家资产
财通基金
天风证券
上海汇华理财有限公司
中信建投证券股份有限公司（资管）
诺安基金
同泰基金
上海途灵资产管理有限公司
通用技术投资
兴业银行研究子公司
太和先机资产管理有限公司
东兴基金
广州云禧私募证券投资基金管理有限公司
恒越基金
善道投资
明河投资
中睿合银投资管理有限公司
长江养老保险
华润元大基金管理有限公司
世诚投资
天安财产保险股份有限公司
毕盛（上海）投资管理有限公司
Lombard Odier

银华基金
深圳市景从资产管理有限公司
申万宏源资管权益投资总部
禹合资产管理有限公司
渤海汇金
瑞华投资
登程资产
上海乾璟投资管理
申万宏源
天风国际证券
申万宏源研究所
国联证券
蔷薇资本有限公司
诚业投资
中信建投证券
兴银理财
平安基金
亘曦资产
中信产业基金
国投瑞银基金管理有限公司
雪石资产
施罗德投资
申银万国
归德投资
兴业信托资产管理部
湖北中经资本投资发展有限公司
马可波罗中国资产管理公司
明世伙伴基金
幻方量化投资管理企业
君和资本
深圳前海固禾资产管理有限公司
北京合正普惠投资管理有限公司
中信建投证券股份有限公司
唐融投资
安信证券资产管理有限公司
浙江淳毅资产管理有限公司
中银证券
国泰君安资管
嘉合基金
上海泊通投资管理有限公司
长江证券
首域盈信
深圳市智信创富资产管理有限公司
华西证券

上海伏明资产管理有限公司
北京凯读投资管理有限公司
华夏理财有限责任公司
文治资本
长安基金
海通证券资产管理有限公司
沣杨资产管理有限公司
中融基金
磐厚动量（上海）资本管理有限公司
上海远海资产
玖龙资产
东方阿尔法基金
盛世景资产
MINDHAND CAPITAL
高盛
北京擎天普瑞明投资管理有限公司
亚太财险
WTAsset
深圳金泊投资管理有限公司
Oakwise Capital
瑞橡资本
上海源品资产管理有限公司
睿格资产
北京泓澄投资管理有限公司
中信建投
上海执云投资管理有限公司
中再资产
博笃投资
华美国际投资集团
鋆昊资本
华创研究所
南华基金管理有限公司
国盛证券研究所
Ruifeng SecAM
北京时田丰投资管理有限公司
北信瑞丰基金
丹羿投资
南京弘翰资产管理有限公司
光大证券股份有限公司
幻方量化
阳光资产
Morgan Stanley
广东南传资产管理有限公司
广州由榕股权投资管理有限公司
中加基金管理有限公司

上海汇利资产
挚信资本
瑞士盈丰资产管理
守正基金
瑞信
信达证券
华安证券研究所
花旗
Brilliance
方圆基金
C.M. Capital
首创证券
江苏汇鸿汇升投资管理有限公司
东方财富证券股份有限公司
鑫元基金
盈峰资本
元大证券
正心谷资本
三星资产管理
裕晋投资
弘毅投资
东方证券
中科沃土基金
和坤资本
方正资管
深圳市翼虎投资管理有限公司
工银瑞信基金管理有限公司
富利达基金管理（珠海）有限公司
重庆博永投资管理有限公司
泰旸资产
红塔证券资管
平安人寿
榕树投资管理有限公司
尚正基金管理有限公司
上海博道基金
北京长青基业管理技术有限公司
由榕资产
大岩资本
东方证券资产管理有限公司
翼虎投资
东兴证券基金部
Schroders
深圳市前海粤鸿金融投资有限公司
西泽投资
前海联合基金

潼骁投资
华安证券股份有限公司自营
招银理财有限责任公司
德邦证券
北京汇信聚盈私募基金管理有限公司
光大资管
财通证券资产管理有限公司
西部证券权益投资部
Franklin Templeton
上海潼骁投资发展中心（有限合伙）
华金证券股份有限公司
北京城天九投资
相聚资本管理有限公司
天津津联
中航证券有限公司
深圳九方资产管理有限公司
先锋基金
光大证券（自营）
富蘭克林華美投信
鲍尔太平有限公司
展博投资
佛山市东盈投资管理有限公司
银河证券
高瓴资本
长城财富保险
上海高毅资产管理合伙企业
砥俊资产管理中心（有限合伙）
德邦基金
中银三星人寿
中信建投基金管理有限公司
广发证券股份有限公司
上海敦颐资产管理有限公司
润邦投资
华融证券资管
天安人寿保险股份有限公司
博道基金
东吴证券投资总部
江苏瑞华投资控股集团
鹏华基金
农银理财
重阳投资
天虫资本
华福证券
石锋资产
申万研究

野村资管
北京银盛泰资本
上海申银万国证券研究所有限公司
新时代证券研究所
广州市航长投资管理有限公司
上海道邦投资咨询有限公司
国金证券（自营）
人保资产管理有限公司
深圳前海海雅金融控股有限公司
陆家嘴国泰人寿
国都基金
康曼德资本
幸福人寿保险公司
北京遵道资产管理有限公司
广银理财
宁泉资产
南方天辰（北京）投资管理有限公司
万润科技
上海德邻众福投资管理有限公司
上海晨燕资产管理中心
上海工聘资产管理有限公司
中国银河证券自营
德邦证券股份有限公司（资管）
施罗德基金
深圳昭图投资
中华联合保险集团股份有限公司
中华联合保险集团
光大证券
华安证券自营
华泰保兴基金
上海力元股权投资管理有限公司
Credit Suisse
丰琰投资管理（浙江自贸区）有限公司
上海银叶投资有限公司
华兴资本
北京鼎萨投资有限公司
Ariose Capital
浙商证券
远致富海
瑞银证券
东海证券（资管）
淡水泉（北京）投资管理有限公司
天安人寿保险
一度天使（投资）
盛世景资产管理集团股份有限公司


平安证券股份有限公司

汇丰证券

高华证券

平安证券

南方工业资产管理有限责任公司

中银国际

狮城产业投资咨询（上海）有限公司

汇丰前海

富达国际

润晖投资

上海森锦投资管理有限公司

诚盛投资

联新资本

深圳市尚诚资产管理有限责任公司

Harvest Global Investments

信泰人寿保险股份有限公司

Macquarie Group Limited（麦格理）

上海益菁汇资产管理有限公司

新时代证券股份有限公司

鹏山资产

海通证券

上海中金资本投资有限公司

深圳河床投资管理有限公司

安信证券股份有限公司

西部证券

白犀资产

安信资产管理有限公司

上海金辇投资管理有限公司

万联证券股份有限公司

国海证券研究所

旭松资本

深圳固禾资产管理有限公司

时间 2021 年 8 月

地点 中微公司、互联网端

董事长兼总经理：尹志尧

财务负责人兼副总经理：陈伟文

副总经理：倪图强

公司接待人员姓名 副总裁兼董事会秘书：刘晓宇

副总裁兼 MOCVD 产品部总经理：郭世平
证券事务代表：胡潇

财务部副总监：庄宇峰

董事会办公室经理：周菡清


董事长尹志尧介绍公司 2021 年上半年业绩情
况：

半导体设备是集成电路和泛半导体微观器件产
业的基石，而集成电路和泛半导体微观器件，
又是数码时代的基础。随着微观器件越做越小，
半导体设备，特别是关键设备等离子体刻蚀设
备、薄膜设备和光刻设备的极端重要性更加凸
显出来。

公司主要为集成电路、LED 外延片、功率器件、
MEMS 等半导体产品的制造企业提供刻蚀设
备、MOCVD 设备及其他设备。公司的等离子
体刻蚀设备已应用在国际一线客户从65纳米到
14 纳米、7 纳米和 5 纳米及其他先进的集成电
路加工制造生产线及先进封装生产线。公司
MOCVD 设备在行业领先客户的生产线上大规
模投入量产，公司已成为世界排名前列的氮化
镓基 LED 设备制造商。

2021 年上半年，公司实现营业收入 13.39 亿元，
同比增长 36.82%；毛利率 42.34%，较上年同期
的 33.92%增长约 8.42 个百分点；实现归属于上
市公司股东的净利润为 3.97 亿元，同比增长
233.17%。今年上半年新签订单金额达 18.89 亿
投资者关系活动主要内容介绍 元，同比增长超过 70%，且有部分 Mini-LED
MOCVD 设备规模订单已进入最后签署阶段。
公司在刻蚀设备和 MOCVD 等设备产品研发、
市场布局、新业务拓展等诸多方面取得了较好
的进展，为公司持续健康发展提供了有力支撑。
公司将继续瞄准世界科技前沿，持续践行三维
发展战略，深耕集成电路关键设备领域、扩展
在泛半导体关键设备领域应用并探索其他新兴
领域的机会，推进实现高速、稳定、安全发展。
问答环节主要内容：

1、中微公司上半年新签订单达 18.89 亿元，请
问这些收入是否反应在中报收入内？

答：2021 年上半年新签订单金额达 18.89 亿元，
同比增长超过 70%，且有部分 Mini-LED
MOCVD 设备规模订单已进入最后签署阶段。
上半年新签订单中有部分已经反应在中报收入
中。

2、公司的刻蚀设备和 MOCVD 等设备产品在国
际国内的技术水平和市占率情况，在今后的发
展规划方面有何新的计划？

答：公司的等离子体刻蚀设备已应用在国际一

线客户从 65 纳米到 14 纳米、7 纳米和 5 纳米及
其他先进的集成电路加工制造生产线及先进封装生产线。公司 MOCVD 设备在行业领先客户的生产线上大规模投入量产，公司已成为世界排名前列的氮化镓基 LED 设备制造商。
公司从三个维度扩展业务布局：深耕集成电路关键设备领域、扩展在泛半导体关键设备领域应用并探索其他新兴领域的机会。在集成电路设备领域，公司将持续强化在刻蚀设备领域的竞争优势，并延伸到薄膜、检测等其他关键设备领域；公司计划扩展在泛半导体领域设备的应用，布局显示、MEMS、功率器件、太阳能领域的关键设备；公司拟探索其他新兴领域的机会，利用好设备及工艺技术，考虑从设备制造向器件大规模生产的机会，以及探索更多集成电路及泛半导体设备生产线相关领域的市场机会。
3、LED 市场有什么变化导致 mocvd 增速下降。很多 led 开启定增，中微判断未来 led 设备采购意愿如何？
答：目前 MOCVD 设备主要是用于氮化镓及砷化镓半导体材料外延生长，其中氮化镓基 LEDMOCVD 主要用于生产氮化镓基 LED 的外延片，以通用照明为主要市场。近年来，LED 的应用迅速扩大，但是通用照明领域新增扩产较少。除通用照明外，背光显示的蓝光 LED、高端显示的 Mini-LED 和 Micro-LED、用于杀菌消毒和空气净化的紫外 LED、应用于电力电子的功率器件等领域对 MOCVD 设备的需求持续提升。

Mini-LED 作为一 种 新兴技术 备受关 注 。
Mini-LED 具有高亮度、精确的动态响应和高对比度等优势，能够显著提升显示品质。2020 年以来，Mini-LED在电视机领域取得了良好应用，在显示器、笔记本、平板等领域，Mini-LED 产品也不断诞生并开始批量出货。
预计未来公司 MOCVD 设备的销售也将以 MiniLed（背光领域）和 Micro LED（直显领域）设备为主，目前公司已有部分 Mini-LED MOCVD设备规模订单进入最后签署阶段。
4、纵观全球的市场来看，国产厂商的购买力仍然较弱，半导体设备的购买力仍然主要由三星、台积电、英特尔贡献，公司如何在海外市场与
国际一线厂商竞争？今年取得了哪些成就？
答：公司特别重视核心技术的创新。在开发、设计和制造刻蚀设备、MOCVD 及其他高端设备的过程中，始终强调创新和差异化并保持高强度的研发投入。通过核心技术的创新，公司的产品已达到国际先进水平。
在逻辑集成电路制造环节，公司开发的 12 英寸高端刻蚀设备已运用在国际知名客户65纳米到5 纳米等先进的芯片生产线上；同时，公司根据先进集成电路厂商的需求，已开发出小于 5 纳米刻蚀设备用于若干关键步骤的加工，并已获得行业领先客户的批量订单。公司目前正在配合客户需求，开发新一代刻蚀设备和包括更先进大马士革在内的刻蚀工艺，能够涵盖 5 纳米以下更多刻蚀需求和更多不同关键应用的设备。
在 3D NAND 芯片制造环节，公司的电容性等离子体刻蚀设备可应用于 64 层和 128 层的量产，同时公司根据存储器厂商的需求正在开发新一代能够涵盖 128 层及以上关键刻蚀应用以及相对应的极高深宽比的刻蚀设备和工艺。
此外，公司的电感性等离子刻蚀设备已经在多个逻辑芯片和存储芯片厂商的生产线上量产，根据客户的技术发展需求，正在进行下一代产品的技术研发，以满足 5 纳米以下的逻辑芯片、
1X 纳米的 DRAM 芯片和 128 层以上的 3D
NAND 芯片等产品的 ICP 刻蚀需求，并进行高产出的 ICP 刻蚀设备的研发。
5、目前国产晶圆厂正处于高强度的扩产周期，但是观察到中微公司截止到今年 7 月底中标的刻蚀机项目非常少，尤其是中芯国际、华虹半导体、长江存储等大型项目均没有见到中微公司的产品中标，请问是出于什么原因？后续公司如何能够把握住这次扩产风口带来的机会？答：公司积极关注下游市场扩产计划并努力争取各种可能的市场机会，公司的刻蚀设备在国内主要客户端市场占有率不断提升。网上披露的中标情况可能属于分阶段或分批次披露。目前公司在手订单饱满，公司 2021 年上半年新签订单金额达 18.89 亿元，同比增长超过 70%，其中刻蚀设备订单占相当比例。
6、公司 6 月末的合同负债余额较上年末余额下降了 1.6 亿元的原因。

答：2021 年 6 月末公司合同负债（预收账款）余额下降为 4.33 亿元，较上年末余额的 5.92 亿元下降了 1.59 亿元，主要是公司 2021 年上半年新签订单金额达 18.89 亿元，同比增长超过70%，但本期新签的刻蚀大量订单还未发货因此
截 至 报 告 日 未 收 到 预 收 款 ， 另 外 有 部 分
Mini-LED MOCVD 设备规模订单于 6 月末已进入最后签署阶段，因此也未收到预收款。
7、公司目前用于 Mini-Led 生产的 MOCVD 设备目前在客户端验证进度如何？是否已经取得批量订单？

答：公司于 2021 年 6 月 17 日正式发布用于高
性能 Mini-LED 量产的 MOCVD 设备 Prismo
UniMax，目前该设备在客户端进度良好且已取得行业领先客户批量订单。公司目前有部分Mini-LED MOCVD设备规模订单也已进入最后签署阶段。
8、可否介绍一下公司上半年的业绩情况？
答：公司 2021 年上半年度营业收入为 13.39 亿元，较上年同期增长 36.82%，主要系：受益于半导体设备市场发展及公司产品竞争优势，公司 2021 年上半年刻蚀设备收入为 8.58 亿元，较去年同期增长约 83.79%，毛利率达到 44.29%。由于下游市场原因，公司 2021 年上半年MOCVD 设备收入为 2.19 亿元，较去年同期下降约 10.08%，但本期 MOCVD 设备的毛利率达到 30.77%，较去年同期有大幅度提升。
2021 年上半年度归属于上市公司股东的扣除非经常性损益后的净利润为 0.62 亿元，较上年同期增加约 0.21 亿元，增长幅度为 53.35%，主要系：（1）公司本期营业收入增长 36.82%，同时本期毛利率为 42.34%，较上年同期的 33.92%增长约 8.42 个百分点，公司本期毛利较上年同期增加约 2.35 亿元；（2）本期股份支付费用较上年同期增加约 1.45 亿元；（3）由于员工人数和员工薪酬的增长，本期不含股份支付费用的销售费用、管理费用和研发费用合计较上年同期增加约 0.20 亿元。
若剔除股份支付费用影响后，2021 年上半年度归属于上市公司股东的扣除非经常性损益的净利润为 2.06 亿元，较上年同期的 0.4 亿元同比增长约 413.4%。
2021 年上半年度归属于上市公司股东的净利润
为 3.97 亿元，较上年同期增加约 2.78 亿元，增长约 233.17%，主要系：（1）扣除非经常性损益后的净利润较上年同期增加约 0.21 亿元；（2）本期产生公允价值变动损益 1.71 亿元，包括公司2020年投资青岛聚源芯星股权投资合伙企业（有限合伙）3 亿元而间接持有中芯国际集成电路制造有限公司科创板股票，因本期中芯国际集成电路制造有限公司股价变动导致公司产生公允价值变动收益约 0.74 亿元；以及经评估师事务所评估，其他非流动金融资产（非上市公司股权投资）本期产生公允价值变动收益约0.98 亿元；（3）计入当期损益的政府补助（非经常性损益）较上年同期增加约 1.44 亿元。
9、请问股份支付费用是什么费用，和扣非利润有什么关系？
答：股份支付费用是指公司在 2020 年度对公司管理层和员工授予第二类限制性股票和股票增值权，按照企业会计准则规定所计入的费用。该类费用为经常性损益。2021 年上半年股份支付费用为 1.45 亿元，若剔除股份支付费用影响后，2021 年上半年度归属于上市公司股东的扣除非经常性损益的净利润为 2.06 亿元，较上年同期的 0.4 亿元同比增长约 413.4%。
10、公司投资的睿励仪器经营状况如何，和公司的协同效应强吗？
答：睿励仪器是集成电路装备领域的领先公司，目前按其自身计划正稳步推进生产经营及产品开发。睿励仪器与公司的客户和供应商都有较大程度的重叠。通过双方的合作，可以向客户提供配套的芯片制程解决方案，具有较强的产业协同效应。
11、公司海外主要销售哪些产品，最近的那个净化设备有没有实现销售，公司采取了哪些推广措施？
答：您好，公司致力于为全球集成电路和 LED芯片制造商提供领先的加工设备和工艺技术解决方案。公司的等离子体刻蚀设备已被广泛应用于国际一线客户从 65 纳米到 5 纳米工艺的众多刻蚀应用，公司开发的用于 LED 和功率器件外延片生产的 MOCVD 设备已在客户生产线上投入量产，目前已在全球氮化镓基 LEDMOCVD 设备市场占据领先地位。子公司中微
惠创利用分子筛的吸附原理的化学反应器，开发制造了工业用大型VOC净化设备并已实现销售。今年上半年，中微惠创与德国 DAS 环境专家有限公司签订战略合作协议，双方将在半导体行业尾气处理设备领域展开紧密的合作，共同推动环保科技行业的发展。
12、公司的人才培养计划是怎么样的？
答：公司目前大约 1/4 是外籍员工。我们的目标是建立以中国为基地，面向世界的公司。主要的成员都是中国人，包括后来培养起来的年轻专家、产品、工程、管理人员大部分都是中国人。中微为不断培养出新生代力量做了大量工作，形势很好。
13、ICP\CCP 的技术规划？
答：从刻蚀设备细分种类的市场规模来看，十年前 CCP 设备的市场占比约为 60%，ICP 的市场占比约为 40%。根据当今的市场调研结果，ICP 设备的市场占比已经超过 CCP 设备，占比约为 60%。
ICP 设备用在前道工序较多，CCP 设备用在后道工序较多。由于中微公司率先开发并推向市场的是 CCP 设备，所以设备用在后道工序比较多。后来公司成功研发并推出了 ICP 设备，很多前道工序也都能做了，并且效果不错，公司希望逐步全面覆盖芯片刻蚀工序。
14、展望 200 多层的 3D NAND、以及逻辑器件新工艺对刻蚀技术及设备的影响？
答：刻蚀设备是工艺过程非常难的设备，每一种微观器件的设计都不一样，经粗略统计目前市场上 7 种典型器件大概有超过 460 个刻蚀步骤，每个步骤都需要开发不同的刻蚀设备。
1）微观器件越做越小，光刻机由于波长的限制，10nm 以下的芯片加工需要薄膜设备和刻蚀设备组合完成加工。14nm 芯片需要大约 500-600个加工步骤，5nm 芯片加工步骤提高到 1000 次以上，其中刻蚀的加工步骤增加三倍到 150-160次。相关工艺技术面临的挑战大，同时市场机会也非常多。
2）芯片层数越来越多、从 2D 结构到 3D 结构。其中刻蚀工艺最卡脖子的还是深孔深沟的刻蚀。市场上目前普遍使用的高深宽比刻蚀设备高深宽比大概是 40:1 到 50:1，中微目前在实验
室已经可以做出深宽比超过 60:1 的极高深宽比CCP 介质刻蚀机，但设备的稳定重复使用还需要进一步努力提升。