【问】尊敬的董秘,关于贵司投资设立的矽行半导体,明场检测设备目前的技术水平处于什么位置?预计什么时候能够量产? 【答】
天准科技:您好,感谢对公司的关注。矽行半导体有限公司所研发的面向12英寸晶圆65~90nm技术节点的宽波段明场缺陷检测设备在2023年8月交付客户,目前公司进一步的研发工作进展顺利,今年会有更多的设备交付客户。¶¶2024-04-08 09:01:00 §
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