至纯科技经营沟通电话会议纪要

时间： 2021 年 1 月 11 日

嘉宾： 至纯科技董事会秘书 柴心明
主持人：广发电子首席分析师 许兴军

广发机械首席分析师代川

湿法设备业务近期情况：

2020 年湿法设备交付给客户的装机地点从北京、上海、无锡、长沙延伸到台湾新竹，工艺节点包括 0.35 微米到 28nm，包括先进工艺、功率器件、微机电器件、第三代化合物半导体、集成电路的设计和研发等。

单片湿法设备：20 年年底，公司在国内一个重点项目上获得突破，获得批量的湿法订单，包括单片的、特殊工艺（高温硫酸、晶背清洗、二流体清洗、异丙醇干燥）等机型，进一步填补了国产装备在湿法工艺领域的空白。旗下的至微科技向合肥长鑫交付了一台 12 英寸的特殊工艺的单片设备，公司单片设备的相关能力和性能获得了国际大厂的认可，晶圆表面的颗粒清洗、每小时的出产量上等指标可以覆盖 28nm 的工艺节点。客户反馈至纯的清洗设备传送快速稳定、可靠性高，制程设备工艺表现优秀、颗粒控制能力领先于其他的国内同类型装备，刻蚀速度稳定，刻蚀均匀性可对标进口设备，服务响应速度快。

目前对标的是国际湿法设备龙头 DNS，DNS 在国内的市占率约 50%，至纯
的国内市占率不到 10%，至纯有信心在 2022 年完成 5 年累计 200 台的装机目
标，在湿法领域进一步深耕。
Q1：18-19 年比较多的槽式设备，订单、发货情况怎么样？

A：槽式 2020 年交付了将近 30 台，年初考虑启东达产制定了 48 台的目标，
受到疫情影响，启东直到 3 月底才允许工程师进厂生产。之后遇到北京的疫情，6 月中旬封闭了 1 个月，导致北方客户无法按时进厂调试安装，相应的订单由于不可抗力进行了延后，下半年的订单处于一个供不应求的状态。

Q2:2021 年湿法设备新签订单的清晰度，产能的情况，以及湿法设备业务的盈亏情况？

A：目前湿法设备订单已经排产到 3 季度。非公开主要就是为了二期扩产进行的募集，已经垫付了一定的资金在做扩产准备，之后再置换。预计 21 年湿法设备业务将实现盈利。
Q3：传统的高纯业务情况，产能有没有影响。

A：今年比较特殊，往年 11-12 月份都是我们催款、验收的时间，今年 11-
12 月份，包括高纯设备、湿法设备还都在竞标、开标，所以面临一个井喷式的订单增长。

高纯设备已经做了 20 年的服务，产能是有保证的，正在有序扩大产能，可以满足下游客户的需求。目前的客户是有选择性的，优先满足三星、台积电、海力士等国际大客户在国内的建厂，以及中芯、华虹、长江存储、合肥长鑫、士兰微、华润微等国内龙头，最后再挑选回款好的其他客户。

高纯系统我们有做到 20 亿的能力，但是这个属于垫资业务，我们不希望一下子做到 20 亿，希望进入到一个良性循环的状态，减轻公司现金的压力。

Q4：国内 8 寸厂的产能很紧张，12 寸成熟制程比如 56nm 以上的扩产是不是会
积极一些？

A：8 寸厂的产线建设、产能扩张其实已经差不多了，明年主要是 12 寸厂的
功率半导体会上大批设备，我们的 12 寸槽式清洗设备会是明年主打的一个机型，0.35 微米-90nm 之间的功率半导体，槽式的 12 寸清洗设备完全可以满足下游客户的需求，12 寸在这种非先进制程领域今年的订单已经有所体现，会有比较大的发展。先进制程领域，28nm 工艺节点，我们的单片式也在去年底获得批量的订单，今年有望获得多批次的重复订单。

最新一期的公众号里面，我们已经披露最新的单片订单已经超过 10 台，合同金额超过 3 亿，在明年陆续会发货交付。单片式的数量可能不及槽式，价值量比槽式的大很多，已知最贵的一台湿法清洗设备是 DNS 卖给三星的 24 腔体、特殊工艺的单价高达 4500 万美金。我们目前具备 8-12 腔的高阶设备生产能力，
设计能力是 18 腔，争取今年底到明年可以推出 18 腔的产品。

国际供应商同类型设备，8 腔普通工艺约 350 万美金。

Q5：研发的团队情况和发展计划。

A：湿法团队 18 年建立，到现在有约 200 人，今年晶圆再生项目要投产，
一共可能要达到 500 人，增长是比较确定的。

细分领域方面，湿法从 8 寸到 12 寸，从普通工艺到先进工艺，差不多有百
种型号，覆盖了清洗、刻蚀、去胶、刷洗等各个节点和工艺，随着腔体模块化的推进，组合会比较多。每年的研发不会低于 5%的收入占比，重点工程领域也会获得国家的补贴，减轻了我们的研发资金压力，也进一步确定了我们国家队和行业龙头的地位。
Q6：公司交付给客户的湿法设备订单收入怎么确认？

A：订单会有 30%的预付，湿法设备出厂时就拿到 90%的货款，最后的 10%
是现场安装调试完之后付清，没有质保。因为我们参与的都是国际的订单，享受的国际供应商待遇，回款条件很好。现在单片式从下订单到安装调试完成差不多需要半年的时间。
Q7：湿法设备利润率的趋势？

A：今年槽式的毛利率进一步上升，因为我们放量之后对上游供应商的议价能力进一步上升，成本有所降低。单片第一台毛利率没那么高，国际供应商的设备在国内的毛利在 45-50%之间，之后随着放量，会接近于国际同类水平。槽式已经接近于国际同类水平。
Q8：20 年高纯设备、清洗设备的订单情况？

A：20 年公司订单总体增速在 30%，湿法设备的增速要远远高于高纯工艺，
湿法设备的订单 18 年 1 个亿、19 年 2 个亿，公司公众号对年底的单片式设备
的突破进行了信息披露范围内的解读。

Q9：二期产能的配置情况。

A：钢架、厂房都已经安排好，主要是洁净厂房的建设，进度还是比较快的。我们的设备因为采用了最新的设计、工艺和材料，目前使用寿命可以达到 10 年以上，每年国内湿法设备装机需求量在 15-20 亿美金之间，国产替代的空间很大。
Q10：晶圆再生业务的情况。

A：目前已经进入到内部装修、最后设备调试的阶段，今年 Q1 就可已通过相关客户的认证和流片，建成以后是国内第一条可以满足 12 英寸、14nm 晶圆再生需求的产线，目前产能。第一期产能 7 万片/月，国际上清洗的价格在 30-35美金/片。这块业务主要是一个服务，属于现金流业务，回款比较好。

在晶圆的生产过程中，正片流入之前会有一批测试片、挡片、控片先于进入下一道工艺，用来校准使用的，测试片、挡片、控片会有 5 次以上重复利用的价值。一般，晶圆厂的 5%-10%晶圆再生会自己来做，涉及到一些图案的保密需求，非保密的会交给外包商来做。

国内目前没有能力做晶圆再生，都是送到日本、中国台湾，物流成本占到30%，合肥流片之后客户可以节省物流费用和中间的损耗，相应的系统设备除了最后的良测设备都是公司自主生产的，28nm 以下的晶圆才需要良测，28nm 以上的都不需要。