上海至纯洁净系统科技股份有限公司

投资者关系沟通会议纪要

时间：2020 年 12 月 14 日

地点：公司会议室
上市公司接待人员：董事会秘书柴心明
调研形式：电话会议
会议主持：广发机械首席分析师代川

广发电子首席分析师 许兴军

主要内容：

1、请介绍一下公司的湿法设备业务

湿法设备应用于芯片制造的多个工序，包括刷洗、湿法刻蚀、湿法清洗、去胶等，分类包括 8 寸 12 寸、槽式单片、普通工艺和特殊工艺等，可以做到上百种工艺设备。公司于今年上半年交付华虹集团 ICRD 的单片式设备属于减薄的特殊工艺，目前完成认证的还有高温硫酸工艺，填补了国内空白；公司还有其他型号的设备与工艺技术正在认证，具体情况将以认证结果为准。目前从跑片的数据来看，公司设备不输于国外同类产品。

制程方面，公司 28-65nm 的设备都可以做，也有 14nm 的技术储备，公司采
用精准研发模式，与下游客户深入沟通确认后，才会投入研发。但目前国内还没
有 14nm 及以下的应用场景，因此未做研发。国内主流客户基本都是 12 寸 28nm。
能做到 14nm 只有中芯国际，该条线设备以外购为主，第二条线才会考虑国产设备以降低成本。

2、公司湿法设备业务近期的发展情况如何

目前槽式和单片式情况都很好。公司的槽式装备供不应求，单片式设备（个位数）处在认证过程中。展望明年，单片式认证符合预期，一旦认证通过可以期待放量。

下半年的订单呈现出井喷状态，公司的湿法设备、高纯工艺系统以及波汇波
但是今年客户现在还在开标，主要原因是下游客户受疫情影响，全年进度有所滞后，为了完成全年目标，上半年拖延的资本开支会在四季度补上。

3、公司晶圆再生项目进展如何

合肥项目内部装修已进入尾声，经客户或第三方现场验证后就可以流片，流片时间预计会在明年第一季度。项目首期产能计划为 7 万片月产，年产 84 万片。
合肥项目的产能已基本已被下游客户预定。业务定价将分不同制程、不同客户而有所差异。相对于境外竞争对手，公司具有成本优势。具体价格还要看前期运营情况、客户接受度等因素而定，要体现国产的性价比优势

晶圆再生属于现金流业务，每个晶圆厂都会保留 5%-10%再生晶圆能力，另外 90%-95%外包。目前国内没有晶圆再生相应业务，都是送到日本台湾进行晶圆再生，来回物流成本接近 30%。公司开展晶圆再生业务，除了 CMP 设备和良测设备则需要引进，公司原有高纯工艺系统和湿法清洗设备可以直接应用于晶圆再生生产线。项目建成后，将是国内第一条 14nm 的 12 寸晶圆再生产线。预计可为当地客户节省 30%的物流成本。

4、公司目前湿法设备的产能情况

若无疫情影响，今年会满足达产 48 台的目标。但是疫情受到影响，目前离预定规划还有一段距离。槽式产能仍在赶进；单片有几台在客户处做认证，一旦认证成功就会转为订单，因此单片订单放量需要等到认证通过后。

5、下游需求旺盛的来源

下游订单增加主要受到疫情耽搁导致的招标延后，下游产能饱满引致的新增需求二者叠加影响。从去年下半年开始，槽式（主要供应 8 寸）需求突起。今年虽有疫情，但是下游需求仍然很旺盛，并未因此减少订单，下半年订单反而报复性反弹。

6、外部封锁是否会促使下游客户转向国产设备？


下游客户没有因为封锁而延缓国产化进程。从公司获得的政府补贴和参与的政府项目可以得到参考。

7、公司明年需求的展望

从长期来看，公司湿法设备的目标是实现 5 年 200 台装机量，今年第三年，
目前目标没有改变，我们对此相当有信心。在这 200 台的装机量中，槽式和单片式的比例需要看客户的具体需求。国内每年装机需求 15-25 亿美金，向上空间较大，主要看公司能力和产能能否匹配。从明后年的数量上看，还是槽式装备占多数，但是价值量上来看，单片式可能会后来居上。

现在湿法设备团队有将近 200 人，较去年翻了一倍。后面会在晶圆再生业务持续招人，合肥再生晶圆项目一期需要 200 人左右，实行倒班制。

8、高纯工艺系统的营收中，半导体领域所占的比例有多少

目前不完全统计，半导体占比超过 60%，高于去年水平。高纯工艺方面，公司会首先维护三星、海力士、台积电、中芯、华虹、长城、长鑫、士兰微等国内外半导体头部客户。在有余力的情况下，公司会服务一些回款比较好的光伏和平板客户。

附：参会人员名单

姓名 公司

张超 平安资本有限责任公司

徐兴科 西藏合众易晟投资管理有限责任公司

刘朔 华泰资产

潘亘扬 上海光大证券资产管理有限公司

龚耀民 博道基金管理有限公司

王俊杰 浙江英睿投资管理有限公司

孙玥 长信基金管理有限责任公司

杨文斌 3W Fund Management

杨朝晖 上银基金管理有限公司

李洋 泰康资产管理有限责任公司

宁宁 中信银行股份有限公司

黄伟鑫

郭磊 银华基金管理股份有限公司

周承川 南方基金

陈俊哲 兴业证券股份有限公司上海证券自营分公司

张晋 国元证券股份有限公司

鲍宗禹 太平基金管理有限公司

颜为海 上海永望资产管理有限公司

杜威 西部证券股份有限公司

蔡锐帆 发展研究中心

王浩 中国山东高速资本（香港）有限公司资管

许辽锋 浙江英睿投资管理有限公司

张帆 国寿安保基金管理有限公司

曹中舒 北京泓澄投资管理有限公司

冯超 天治基金管理有限公司

程卿云 鹏华基金管理有限公司

张丽华 中国人保资产管理有限公司

章礼英 江苏瑞华投资控股集团有限公司

周奕涛 财通证券资产管理有限公司

滕兆杰 上海晨燕资产管理中心（有限合伙）

Sophia Tang Samsung Asset Management (Hong Kong) Limited

王伟 大通证券股份有限公司

余高 北京源乐晟资产管理有限公司

代川 发展研究中心

郑众 上银基金管理有限公司

郭羽 中信证券股份有限公司

俞海海 三亚鸿盛资产管理有限公司

叶群 华安证券股份有限公司

王旭 华福证券股份有限公司

刘寻峰 北京鼎萨投资有限公司


姓名 公司

姜捷 上海人寿保险股份有限公司

刘一泽 博时基金管理有限公司

王喆 上海潼骁投资发展中心（有限合伙）

周荣超 上海丹羿投资管理合伙企业（普通合伙）

祝祯哲 富国基金管理有限公司

丁冯佳 鹏华基金管理有限公司

林宾 厦门金恒宇投资管理有限公司

管俊玮 华商基金管理有限公司

张鸿运 仁桥（北京）资产管理有限公司

郑天涛 太平洋投資策略有限公司 (太盟集团）

徐玲玲 东北证券股份有限公司上海证券自营分公司

Franky Wong 黄健宏 嘉实国际

赵阳 弘毅远方基金管理有限公司

彭荣安 Trvest

刘宾 深圳市康曼德资本管理有限公司

蔡霁磊 中信证券股份有限公司

周炜 广发证券

张文昭 鹏华基金管理有限公司

王青雷 交银施罗德基金管理有限公司

丑凯亮 光大保德信基金管理有限公司

谢磊 华安基金

周静 广发证券股份有限公司

王坦 广发证券股份有限公司