上海至纯洁净系统科技股份有限公司

投资者关系活动纪要

时间：2020 年 7 月
地点：公司会议室、网络会议平台
上市公司接待人员：董事会秘书柴心明
调研机构：汇丰晋信、光大保德信、上投摩根、银河基金、富国基金、
eFusion、Mighty Divine、香港鲍尔太平、风和投资、渤海人寿、东吴人寿、华夏久盈、新华养老、英大保险、长城财富、中再资产、博道基金、大成基金、国寿安保基金、汇添富基金、建信基金、九泰基金、群益投信、融通基金、万家基金、兴业基金、圆信永丰基金、长盛基金、海祥投资、汉和资本、康曼德资本、世诚投资、潼骁投资、银叶投资、香元基金、星石投资、中信建投、中金公司、中信证券
调研形式：现场调研、网络会议、电话会议
主要内容：

１、清洗设备下游客户选择供应商的标准是什么，未来我们单片的市场份额预期达到什么水平？

客户最关心的是良率和效率，其次是供应商的性价比。目前能看到我们的槽式在批量出货，有一段时间存在供不应求的情况。在境外客户方面，我的团队在与客户的技术团队、人员有充分沟通，不需要认证，下单反而会比较快。

关于未来的份额，公司之前提过一个目标，五年内实现 200 台的出货量，目前是第三年，如果不考虑疫情，我们认为有信心完成，疫情影响了交付。但是我们没有改变目标，还在追赶进度。200 台里面前期槽式会多一些，后期和客户沟通基础上，如果单片验证进展顺利，我们会加大对单片的生产力度。

２、公司目前湿法设备的技术水平如何

公司的技术储备可以做到 14nm 以下的水平，如果国内有应用场景和认证平台的话，可
以进行开发生产。

３、是否槽式的市占率会比单片的市占率高一些？

从台数来看槽式会多，但是从价值量来看，单片会多一些

４、公司单片方面与 ICRD 的合作进程如何，何时拿到订单，何时确认交付？

公司 2019 上半年开始推进 ICRD 的单片项目，之前由于 ICRD 工艺有新的需求，我们
把设备跟动修改后再验证，前前后后用了一年的时间，目前已经现场交付给华虹，我们有信心及时确认收入。

还有几个不同的型号在不同的客户端进行验证，阶段性信息反馈都比较正面。

５、单片清洗是否是未来发展的趋势

随着制程越来越小，对良率和工艺要求的提升，槽式会受到限制，相应的单片清洗则有越来越大的发挥空间，特别是在 12 寸的产线上，会更多的应用单片式清洗设备。

６、槽式设备的需求如何，2019 年国内的槽式设备的市场空间，公司在槽式设备更新当中的市占率如何

在 2019 年，公司槽式的设备订单大概占国内的更新总量的 45%，目前是以 8 寸的槽式
为主，12 寸为少数。槽式的酸槽 24 小时浸泡在高酸性、高浓度、高温的酸碱溶液中，有一定的使用寿命。前期可能做部分零配件的表面处理就可以继续投入使用，后期部分管道、零配件部分受到侵蚀，再进行回收处理的价值不大，还会最终影响到良率。

不同的产品、型号的寿命不同，最终判断寿命的标准就是对良率的影响，如果对良率影响较大的话，就需要被替代，大概是 4-6 年左右。

７、公司的槽式设备技术与国外相比如何

公司的槽式设备相比与国外产品更有优势，主要在于公司可以根据客户要求进行工艺改进，更符合国内客户需求，而这是国外供应商不愿意去跟动。

８、槽式设备在新产线采购目前的主要竞争对手有哪些？

竞争对手还是以国外的设备厂商为主，公司主要做的是增补国内空白的、新的工艺，甚
至部分国外厂商也不具备的新的模块等。总体来看，公司觉得最大的竞争对手是自己，主要是资源的配置和研发投入等。

９、国内的槽式、单片的清洗设备的市场占比大概如何，未来单片的市场增长比较可观，槽式的发展空间如何

需要按照工艺进行分类讨论：8 寸的槽式设备替代的市场空间比较大，12 寸对单片清洗设备的需求比较大，特别是随着制程越来越精密，对良率、产能的要求提升，单片式设备的应用会比较多，最终会超过槽式的需求。

1０、新产线采购设备还需要新的验证吗？

国内下游每采购一个机型需要新的验证，国外下游则不需要。我们也在呼吁，国内需要设备的一个统一认证的平台，这样对设备厂商比较有利，能够节省费用。

1１、参与中芯战略配售的背景？

中芯国际将在上海科创板上市，中芯聚源 LP 里面的供应商基本是上海本地为主，名单中体现出来的是供应链的产业效应。

1２、公司的湿法设备卖到台湾是怎样的契机

台湾客户的特点在于没有认证环节，只要制造团队的能力被承认，就可以直接下订单。公司的湿法技术团队有台湾的背景，因此公司在台湾有天然的优势。

1３、公司在单片湿法设备上的技术方向如何

公司始终坚持国际视野，对标国际上的主流供应商，采用同为目前最先进的 NENOSPRAY 即滴喷技术。我们认为，目前公司与国外竞争对手的差距主要在于市场占有率，公司作为行业的新进供应商，产品认证是必经之路，市场需要逐步打开。

1４、未来对于参与到全球竞争，公司的想法和目标是如何？

公司目前的布局重心还在大陆，台湾地区属于一个突破口，当前的大环境是第三次的产业转移，产业链在从日韩转移到大陆，产业链的增量也是在中国大陆，所以我们重心也在国内。紧紧抓住国产替代我们才能顺势而上，把之后的成果做得更好。


1５、先进制程对应的清洗设备的量是多少？

目前各个品牌和工艺没有一个可参考、可推广的模式。以 40K 的产能为例，国内一条线会用到 70 台的清洗设备，但是海力士就要用到 120 台设备，长江存储用的密集堆砌技术，128 层或者更高，清洗设备相较 64 层会有翻倍需求。随着制程的精密，单片的清洗设备需求会越来越多。