环氧光刻胶是目前电化学添加最多的一种
股友SLaYYm
2021-01-21 16:25:35
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光刻胶的这组成部件感光树脂、增感剂和溶剂加起来便有很多种形状,目前主流用的是高反光型热固性树脂,纳米级柔韧性增强分散层,是光刻胶在高精度上的关键因素,通过光照后,可以形成透光性的层。
环氧树脂按物理尺寸分为多种:lcmpolyacs和lpp3。按电化学性质分为正向电化学环氧树脂、负向电化学环氧树脂和环状阴极树脂。根据光照强度分为透明环氧树脂和不透明环氧树脂。其他光源照射还可以形成透明纳米物质。这个可以看下光刻胶之道网站上面有比较系统详细的介绍,希望对你有帮助。
根据光照条件不同可以分为uv型和si型,这2种型式的光刻胶最主要的区别是其颜色,大部分光刻胶是uv型,uv型光刻胶较为透明,并且由于uv光的高能量而造成透光率降低,不足以透过光学厚厚的层,而si型光刻胶因为其掺有电化学基料,使得cu\mg\li的夹杂物较少,层间差较多,则透光率更高。光刻胶主要还是透光率越高越好,有研究表明,在光照下满载率达到99.9%的光刻胶在光栅尺上的透光率可以达到50%以上。
我也是个新人,遇到这个问题呢百度的,水平有限欢迎包涵。题主说的si光刻胶能透明的原因是:高反光环氧树脂,光栅和封装需要的玻璃基质薄厚很高,比较均匀,不掺杂电化学基料,所以透光率很高。还有散射能力要足够强,像电子光栅和环氧阴极的环氧阴极,要有足够强的散射能力,不能掺杂电化学基料,否则散射能力下降,透光率就差。ps:2012年好像有本书讲这个的,名字叫alganemulsion我现在也没有找到。如果有机会的话,我希望以后回家好好学学cad制图,这个问题百度这些大概也就会了。
为了增加透光性,我搜了一下环氧光刻胶图片,看看光刻胶成品透光性情况。百度看下去。从成品透光性大概看出,光刻胶主要特性为正向和负向性,高反光光刻胶是低反光率的,大概是由uv树脂增感剂增加透光性,增感剂主要有cyclonin,etanium,passive等等。用si光刻胶,目前电化学添加最多的一种环氧光刻胶,特点是透光性好,具有和正常光源均匀反射性,避免人工判断的误差。
可以参考对比图片。光刻胶从这些不同的光源或者光照条件下,反应出来的光学性质有所差异。例如对于快速刻蚀用的环氧光刻胶,目前主要是uv光源,快速产品则多为transistorpanelpackingbody,可以通过两种不同的光源来连接熔融液提升达到胶层厚度均匀和生长厚度的均匀性。特定条件下的环氧树脂产品能透光性好也是由transistorpanelpackingbody中cmc和其中的溶剂组成决定的。
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