又称为湿功能电子化学品，是指通过复配手段达到特殊功能、满足制造中特殊工艺需求的配方类或复配类化学品。一般配合光刻胶使用，包括显影液、漂洗液、剥离液等。
配套试剂和光刻胶配合使用，生产光刻胶的企业一般具备生产配套试剂的能力，国内的厂商包括江化微、江阴润玛、晶瑞股份等，国内企业快速突破技术壁垒，凭借成本及本土化优势得以迅速发展。中国企业不断加强湿电子化学品基础研究，目前包括江化微在内的一批本土企业突破了跨国企业的技术垄断，部分领域产品已经达到国际标准。

1）江化微：公司目前国内生产规模最大、品种最齐全、配套性最强的超高纯湿电子化学品专业集成服务提供商。公司建有年产 8 万吨的超高纯湿电子化学品生产基地，主要生产设备和测试仪器全部从国外引进，产品质量达到国际同类先进水平。目前公司产品已经达到SEMI 标准高端电子化学品行列，具备 G2、G3 等级产品的规模化生产能力，其硝酸 纯度、氢氟酸、氨水等细分产品都达到了 G4、G5的行业水平。

2）江阴润玛：公司主导湿电子化学品主要包括蚀刻液系列、氢氟酸、高纯硝酸等。公司拥有领先的自主创新 能力，其自主研发的铝腐蚀液、钛腐蚀液、铜腐蚀液、钼铝蚀刻液填补了国内相关技术的空白，其中铝蚀刻液的关键技术水平达到德美日韩等发达国家的产品水平，在性价比和售后服务方面有显著的竞争优势。

3）晶瑞股份：晶公司主导湿电子化学品产品品种包括氢氟酸、双氧水、高纯硝酸，并以生产氢氟酸、过氧化氢(双氧水)生产规模大而在国内著名。