公司可以生产的稀有气体有哪些，是否产生业绩。是否生产可用于芯片制造的光刻气体。
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【问】公司可以生产的稀有气体有哪些，是否产生业绩。是否生产可用于芯片制造的光刻气体。 【答】中泰股份：您好，公司具备制取氪氖氙氦等稀有气体以及高纯电子保护气的装置及核心设备业绩，精制氪气氙气气体运营项目已生产出合格的氪氙气体，已具备向市场提供大量优质的高纯/超纯气体的能力，可应用于芯片制造所需的光刻、刻蚀、沉积等制程，感谢您的关注！¶¶2024-10-31 15:55:28 §
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