【问】尊敬的董秘，您好，针对全球光刻机龙头大厂阿斯麦（ASML）计划在韩国建设光刻胶设备厂，据报道公司已建成25吨光刻胶生产线，已获得国家02专项“193nm光刻胶及配套材料启动项目”和“ArF光刻胶开发和产业化项目”的正式立项，先后获得中央财政补贴15,101.65万元，地方配套5,000万元。公司组建了包括高级光刻胶专业人才的独立研发团队，建成1500平方米的研发中心和百升级光刻胶中试生产线，属实？ 【答】南大光电：感谢您的关注！关于ArF光刻胶项目的进展请参见公司定期报告和临时公告。公司ArF光刻胶产品开发和产业化项目，目前已完成25吨光刻胶生产线建设，主要先进光刻设备，如ASML浸没式光刻机等已经完成安装并投入使用。2020年底，公司自主研发的ArF光刻胶产品成功通过下游客户的使用认证，成为通过产品验证的第一只国产ArF光刻胶，各项光学性能均达到商用胶的水平，可实现先进光刻胶的国产替代，产业化取得关键突破，拿到国产光刻胶的首个订单，实现小批量销售。¶¶2021-05-21 16:24:00 §