光刻机的难度主要在于：1.高精度的指定波长光束。2.测量台移动的控制器也需纳米级
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【问】光刻机的难度主要在于：1.高精度的指定波长光束。2.测量台移动的控制器也需纳米级精度。精度、频率、同步都是光刻机生产的核心要素。请问：公司的时间频率产品、量子传感产品是否可以应用于光刻机提高精度、校准频率以及让光刻机各组件同步以提高精度？ 【答】天奥电子：您好，公司暂没有产品应用于光刻机，谢谢您的关心！¶¶2020-04-07 17:28:00 §
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