上海浦东新区国资委网站发布消息,根据有关规定,区政府颁布2017年度浦东新区科学技术奖获奖项目名单,科创集团支持的中微半导体等获奖。可立克(002782)间接参股的中微半导体公司是中国目前唯一一家在核心领域打入国际领先晶圆厂的高端芯片设备企业,其产品领域(RIE 刻蚀设备、TSV刻蚀设备及MOCVD设备)均为该细分领域世界三强,凭借1x纳米等离子体介质刻蚀机获得“创新成就奖。