尊敬的董秘，市场传闻中国电科旗下电科装备日前已成功实现离子注入机全谱系产品国产化
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【问】尊敬的董秘，市场传闻中国电科旗下电科装备日前已成功实现离子注入机全谱系产品国产化，可为全球芯片制造企业提供离子注入机一站式解决方案。请问此事件对公司微电子有何影响？ 【答】海特高新：您好，公司微电子事业部拥有国际一流的半导体工艺设备包括：步进式光刻机、离子注入机、金属溅射台、金属蒸发台、湿法蚀刻台等，设备性能优越，稳定性高，并且完全实现自动化制造，可为客户提供稳定、高效、优质的服务。谢谢。¶¶2021-03-31 17:30:00 §
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