董秘您好，查看公司年报公司产品已通过中芯国际用户认证和使用，并应用于极大规模集成
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【问】董秘您好，查看公司年报公司产品已通过中芯国际用户认证和使用，并应用于极大规模集成电路制造工艺。公司参与的国家支撑计划项目“钽的增值化利用技术开发”已顺利通过验收，研发出300mm硅片用Ta靶材。请问是否属实？ 【答】东方钽业：2015年半年度报告中“自治区成果转化项目“高性能钽靶材产业化建设”顺利通过验收，研发出300mm硅片用（4N5）Ta靶材，靶材膜厚及均匀性、电阻率、晶粒数、电子迁移和应力迁移的可靠性等均满足芯片配线要求，并通过了相关半导体溅射测试。产品通过了中芯国际等用户认证和使用，成功应用于极大规模集成电路制造工艺。”公司只是参加这个项目的公司之一，提供原料。¶¶2020-05-20 14:43:00 §
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